10楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 10:00:43
你的腔体多大？我用的是直径650的，一般10sccm就可以上到3pa以上了。而且前面有人也说了，可以换射频，不过不知道你的实验是不是一定要用直流？你是磁控溅射制备石墨烯吗？
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11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石，我直径600，高500，现在设备有限，只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...

12楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 10:22:28
这个比我的小了，我的腔体也是高500，直径650，所以你可以调一下气压控制的部分。另外电源可以试一下中频的，你的直流条件受限，要做出来比较困难，磁控溅射对硬件要求多。
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3楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-17 17:03:15
气压1.0pa，氩气100sccm，这个也是我要研究的变量，我提高功率方面有限制，这个电源电压超过600V就会报警...

13楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 11:03:33
可以问一下你做的时候功率密度一般是多大吗...

15楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 12:35:03
dlc我没做过，而且我用射频，你可以参考一下。功率从40-120w。
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16楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 19:27:46
那我功率比你要大的多，你的靶材面积是多少呢...

11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石，我直径600，高500，现在设备有限，只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...