24小时热门版块排行榜    

查看: 4825  |  回复: 31

拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 10:00:43
你的腔体多大?我用的是直径650的,一般10sccm就可以上到3pa以上了。而且前面有人也说了,可以换射频,不过不知道你的实验是不是一定要用直流?你是磁控溅射制备石墨烯吗?
...

我做类金刚石,我直径600,高500,现在设备有限,只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶
11楼2017-05-18 10:04:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石,我直径600,高500,现在设备有限,只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...

这个比我的小了,我的腔体也是高500,直径650,所以你可以调一下气压控制的部分。另外电源可以试一下中频的,你的直流条件受限,要做出来比较困难,磁控溅射对硬件要求多。

发自小木虫Android客户端
12楼2017-05-18 10:22:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
12楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 10:22:28
这个比我的小了,我的腔体也是高500,直径650,所以你可以调一下气压控制的部分。另外电源可以试一下中频的,你的直流条件受限,要做出来比较困难,磁控溅射对硬件要求多。
...

可以问一下你做的时候功率密度一般是多大吗
13楼2017-05-18 11:03:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nicesunny

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-17 17:03:15
气压1.0pa,氩气100sccm,这个也是我要研究的变量,我提高功率方面有限制,这个电源电压超过600V就会报警...

可以试着调整一下溅射参数,气压、流量,个人感觉可以试试调低试试
澄怀味道
14楼2017-05-18 11:05:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 11:03:33
可以问一下你做的时候功率密度一般是多大吗...

dlc我没做过,而且我用射频,你可以参考一下。功率从40-120w。

发自小木虫Android客户端
15楼2017-05-18 12:35:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
15楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 12:35:03
dlc我没做过,而且我用射频,你可以参考一下。功率从40-120w。
...

那我功率比你要大的多,你的靶材面积是多少呢
16楼2017-05-18 19:27:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
16楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 19:27:46
那我功率比你要大的多,你的靶材面积是多少呢...

我的靶材是直径60,厚度3的

发自小木虫Android客户端
17楼2017-05-18 20:50:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

at2046

铜虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用直流溅射速度比其它的电源溅射速率要快,如果速度慢,建议你加大功率

发自小木虫Android客户端
18楼2017-05-19 06:17:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天海星云

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石,我直径600,高500,现在设备有限,只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...

辛苦了,用磁控溅射石墨,溅射速率很差的,换别的方法吧。比如射频或PLD

发自小木虫Android客户端
19楼2017-05-20 19:57:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小笛子

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
溅射石墨靶 是要得到碳原子??

发自小木虫Android客户端
20楼2017-05-21 12:58:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 拾肆洛希 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂 +4 妮妮ninicgb 2026-03-15 7/350 2026-03-16 09:43 by 闲人终南山
[考研] 中科院材料273求调剂 +3 yzydy 2026-03-15 3/150 2026-03-15 21:15 by ms629
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化,一志愿:哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 5/250 2026-03-14 16:30 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +4 @将就将就看 2026-03-10 8/400 2026-03-14 14:23 by 千千运气
[考研] 332分材料工程调剂 +3 莓好时光海苔 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:03 by JourneyLucky
[考研] 333求调剂 +3 球球古力 2026-03-09 3/150 2026-03-14 01:57 by JourneyLucky
[考研] 一志愿郑大070303,338分,求调剂 +4 dadawaf 2026-03-10 5/250 2026-03-14 01:20 by lsw010101
[考研] 环境调剂 +6 晓看天暮看云 2026-03-09 6/300 2026-03-14 01:16 by JourneyLucky
[考研] 265求调剂 +9 小木虫085600 2026-03-09 12/600 2026-03-14 01:11 by JourneyLucky
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +4 咪咪空空 2026-03-11 4/200 2026-03-13 19:57 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
[考研] 材料301分求调剂 +5 Liyouyumairs 2026-03-12 5/250 2026-03-13 14:42 by JourneyLucky
[考研] 085600 材料与化工 295 求调剂 +10 dream…… 2026-03-10 12/600 2026-03-12 13:46 by dream……
[考研] 大连大学化学专业研究生调剂 +3 琪久. 2026-03-10 8/400 2026-03-11 10:02 by 琪久.
信息提示
请填处理意见