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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 10:00:43
你的腔体多大?我用的是直径650的,一般10sccm就可以上到3pa以上了。而且前面有人也说了,可以换射频,不过不知道你的实验是不是一定要用直流?你是磁控溅射制备石墨烯吗?
...

我做类金刚石,我直径600,高500,现在设备有限,只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶
11楼2017-05-18 10:04:44
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cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石,我直径600,高500,现在设备有限,只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...

这个比我的小了,我的腔体也是高500,直径650,所以你可以调一下气压控制的部分。另外电源可以试一下中频的,你的直流条件受限,要做出来比较困难,磁控溅射对硬件要求多。

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12楼2017-05-18 10:22:28
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
12楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 10:22:28
这个比我的小了,我的腔体也是高500,直径650,所以你可以调一下气压控制的部分。另外电源可以试一下中频的,你的直流条件受限,要做出来比较困难,磁控溅射对硬件要求多。
...

可以问一下你做的时候功率密度一般是多大吗
13楼2017-05-18 11:03:33
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nicesunny

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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3楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-17 17:03:15
气压1.0pa,氩气100sccm,这个也是我要研究的变量,我提高功率方面有限制,这个电源电压超过600V就会报警...

可以试着调整一下溅射参数,气压、流量,个人感觉可以试试调低试试
澄怀味道
14楼2017-05-18 11:05:03
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cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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13楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 11:03:33
可以问一下你做的时候功率密度一般是多大吗...

dlc我没做过,而且我用射频,你可以参考一下。功率从40-120w。

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15楼2017-05-18 12:35:03
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
15楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 12:35:03
dlc我没做过,而且我用射频,你可以参考一下。功率从40-120w。
...

那我功率比你要大的多,你的靶材面积是多少呢
16楼2017-05-18 19:27:46
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cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
16楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 19:27:46
那我功率比你要大的多,你的靶材面积是多少呢...

我的靶材是直径60,厚度3的

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17楼2017-05-18 20:50:55
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at2046

铜虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用直流溅射速度比其它的电源溅射速率要快,如果速度慢,建议你加大功率

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18楼2017-05-19 06:17:06
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天海星云

新虫 (初入文坛)


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引用回帖:
11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石,我直径600,高500,现在设备有限,只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...

辛苦了,用磁控溅射石墨,溅射速率很差的,换别的方法吧。比如射频或PLD

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19楼2017-05-20 19:57:17
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小笛子

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
溅射石墨靶 是要得到碳原子??

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20楼2017-05-21 12:58:49
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