| 查看: 5239 | 回复: 31 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
[交流]
有没有用磁控溅射方法溅射石墨靶的同学 已有17人参与
|
||||
| 直流磁控溅射方法溅射石墨靶，发现溅射率很低，有没有什么方法可以提高溅射速率的呢 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
课题组招2027级博士 上海工程技术大学 激光智能制造方向
已经有4人回复
-
现代”学阀”该如何界定
已经有8人回复
-
上海工程技术大学 激光智能制造课题组 2027级博士研究生招生
已经有3人回复
-
实名举报：华南理工大学物理与光电学院副院长李志远婚内两次出轨女学生（博士）
已经有16人回复
-
上海工程技术大学激光智能制造课题组｜2027级博士研究生招生公告
已经有11人回复
-
上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生
已经有10人回复
-
申博发邮件
已经有11人回复
-
各位大神，目前国内有哪些比较好用的逆合成软件？
已经有12人回复
-
我的奶奶
已经有3人回复
-
国社科系统bug了，是不是要放榜了？
已经有9人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
9楼2017-05-18 09:58:18
cowboysling
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 4663.4
- 红花: 1
- 帖子: 490
- 在线: 273.6小时
- 虫号: 953635
- 注册: 2010-02-07
- 性别: GG
- 专业: 机械摩擦学与表面技术
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
你的溅射压力和气体流量多少？现在的溅射速率是多少？一般提高功率即可，不过要看你需要达到的目的，还有是否一定需要用直流，这个也和你所用的电源有关。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2017-05-17 14:34:00
3楼2017-05-17 17:03:15
cowboysling
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 4663.4
- 红花: 1
- 帖子: 490
- 在线: 273.6小时
- 虫号: 953635
- 注册: 2010-02-07
- 性别: GG
- 专业: 机械摩擦学与表面技术
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
你看一下别人的文献是否需要用到这么高的气体流量。还有就是如果电源功率上不去，你要增加沉积速率会比较困难，因为石墨靶上激发的离子浓度不足，相应基体上的附着率也无法提高。 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-05-17 21:27:03