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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于PMMA的剥离问题
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siten

铜虫 (初入文坛)

[交流] 关于PMMA的剥离问题

我用电子束曝光在“”PMMA上做的100nm线条，胶厚在500nm左右，
显影之后用电子束蒸发了10nmCr和100nm金，使用丙酮剥离，泡了3天了pmma还是没有反应

现在该怎么处理，是换剥离液成N,N-二甲基甲酰胺？还是加热丙酮或者加超声？

谢谢大家指导
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1楼 2017-05-10 17:19:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
siten(金币+1): 谢谢参与
如果泡了3天PMMA都没反应，说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了，把PMMA覆盖的很完整，没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后，没有做出底切的形貌，而是大开口的。
你这个应该找卖你胶的公司做技术支持，比如找研材微纳。
你做完光刻后，有没有做切片看剖面？前散射造成底切的结构有被显影出来没有？
从目前看，很可能是光刻出了问题，也可能是显影没显透。
一般还是需要做个切片先确定光刻后的结构形貌，来确定光刻结果是否符合做lift off的条件。
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3楼2017-05-11 11:59:08
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siten

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-11 11:59:08
如果泡了3天PMMA都没反应，说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了，把PMMA覆盖的很完整，没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后，没有做出底切的形貌，而是大开口的。
你这个应该 ...

我重新做次光刻试试
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4楼2017-05-16 11:30:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by siten at 2017-05-16 11:30:34
我重新做次光刻试试...

还是先把之前的一片做切片看个剖面吧，比较保险。
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5楼2017-05-16 16:43:36
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北王狮子印

铜虫 (小有名气)
★
siten(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-11 11:59:08
如果泡了3天PMMA都没反应，说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了，把PMMA覆盖的很完整，没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后，没有做出底切的形貌，而是大开口的。
你这个应该 ...

什么情况会导致电子束光刻后金属爬坡？
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6楼2019-07-15 16:12:38
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
siten(金币+1): 谢谢参与
高温NMP浸泡超声，施加外力，水枪冲掉
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7楼2019-07-15 18:20:06
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siten

铜虫 (初入文坛)
最后在供应商处买了专用剥离液，剥离效果挺好

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8楼2019-08-28 09:19:18
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
siten(金币+1): 谢谢参与
你们自己的设备么？
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9楼2019-08-28 13:02:54
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siten

铜虫 (初入文坛)
是的

发自小木虫Android客户端
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10楼2019-08-28 18:53:57
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dsctg2楼
2017-05-10 17:25   回复  
siten(金币+1): 谢谢参与
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