24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

siten

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 266
帖子: 40
在线: 7.8小时
虫号: 823228

[交流] 关于PMMA的剥离问题

我用电子束曝光在“”PMMA上做的100nm线条，胶厚在500nm左右，
显影之后用电子束蒸发了10nmCr和100nm金，使用丙酮剥离，泡了3天了pmma还是没有反应

现在该怎么处理，是换剥离液成N,N-二甲基甲酰胺？还是加热丙酮或者加超声？

谢谢大家指导

回复此楼

» 猜你喜欢

请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？已经有0人回复
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）已经有0人回复
无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有273人回复
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生已经有0人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2017-05-10 17:19:08

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

北王狮子印

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 9.9
帖子: 70
在线: 14小时
虫号: 2995167

★
siten(金币+1): 谢谢参与

引用回帖:

3楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-11 11:59:08
如果泡了3天PMMA都没反应，说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了，把PMMA覆盖的很完整，没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后，没有做出底切的形貌，而是大开口的。
你这个应该 ...

什么情况会导致电子束光刻后金属爬坡？

赞一下

回复此楼

6楼2019-07-15 16:12:38

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 10 个回答

如果泡了3天PMMA都没反应，说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了，把PMMA覆盖的很完整，没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后，没有做出底切的形貌，而是大开口的。
你这个应该找卖你胶的公司做技术支持，比如找研材微纳。
你做完光刻后，有没有做切片看剖面？前散射造成底切的结构有被显影出来没有？
从目前看，很可能是光刻出了问题，也可能是显影没显透。
一般还是需要做个切片先确定光刻后的结构形貌，来确定光刻结果是否符合做lift off的条件。

赞一下(2人)

回复此楼

3楼2017-05-11 11:59:08

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖