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siten

铜虫 (初入文坛)


[交流] 关于PMMA的剥离问题

我用电子束曝光在“”PMMA上做的100nm线条,胶厚在500nm左右,
显影之后用电子束蒸发了10nmCr和100nm金,使用丙酮剥离,泡了3天了pmma还是没有反应

现在该怎么处理,是换剥离液成N,N-二甲基甲酰胺?还是加热丙酮或者加超声?

谢谢大家指导
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引用回帖:
4楼: Originally posted by siten at 2017-05-16 11:30:34
我重新做次光刻试试...

还是先把之前的一片做切片看个剖面吧,比较保险。
5楼2017-05-16 16:43:36
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siten(金币+1): 谢谢参与
如果泡了3天PMMA都没反应,说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了,把PMMA覆盖的很完整,没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后,没有做出底切的形貌,而是大开口的。
你这个应该找卖你胶的公司做技术支持,比如找研材微纳。
你做完光刻后,有没有做切片看剖面?前散射造成底切的结构有被显影出来没有?
从目前看,很可能是光刻出了问题,也可能是显影没显透。
一般还是需要做个切片先确定光刻后的结构形貌,来确定光刻结果是否符合做lift off的条件。
3楼2017-05-11 11:59:08
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siten

铜虫 (初入文坛)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-11 11:59:08
如果泡了3天PMMA都没反应,说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了,把PMMA覆盖的很完整,没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后,没有做出底切的形貌,而是大开口的。
你这个应该 ...

我重新做次光刻试试
4楼2017-05-16 11:30:34
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北王狮子印

铜虫 (小有名气)



siten(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-11 11:59:08
如果泡了3天PMMA都没反应,说明电子束光刻有问题。因为金属肯定爬坡了,把PMMA覆盖的很完整,没有任何缝隙能让丙酮进入去溶解PMMA。
也就是说你的PMMA光刻显影后,没有做出底切的形貌,而是大开口的。
你这个应该 ...

什么情况会导致电子束光刻后金属爬坡?
6楼2019-07-15 16:12:38
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