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[交流]
关于PMMA的剥离问题
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我用电子束曝光在“”PMMA上做的100nm线条，胶厚在500nm左右， 显影之后用电子束蒸发了10nmCr和100nm金，使用丙酮剥离，泡了3天了pmma还是没有反应 现在该怎么处理，是换剥离液成N,N-二甲基甲酰胺？还是加热丙酮或者加超声？ 谢谢大家指导 |
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yswyx 
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5楼2017-05-16 16:43:36