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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 石英衬底甩光刻胶粘接性问题 已有2人参与

在石英片上甩一层10微米厚的AZ4620光刻胶。光刻显影的时候，在正常的显影时间范围里，就会出现光刻胶脱落的问题。或者同样的胶厚和曝光时间，石英片就会有点过爆的效果。
想请教下论坛里的学术大神们有没有什么经验和看法。

石英衬底甩光刻胶粘接性问题


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1楼 2017-03-11 23:36:18
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-03-12 11:51:30
胶太厚了吧

刻20微米线宽的器件，胶适合多厚呢？

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6楼2017-03-12 12:45:03
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普通回帖

524001391

金虫 (正式写手)
脱落问题建议调一下前烘时间和温度

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好好工作,好好生活!
2楼2017-03-12 08:34:23
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 524001391 at 2017-03-12 08:34:23
脱落问题建议调一下前烘时间和温度

我的前烘是先到50度保温60分钟，在升到90度保温120分钟，再自然下降。其他的片子，例如玻璃、氧化物、金属片子都没事，为什么石英的就不行呢？

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3楼2017-03-12 09:20:43
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:50:55
本帖内容被屏蔽
4楼2017-03-12 11:47:12
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
胶太厚了吧

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5楼2017-03-12 11:51:30
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-03-12 11:47:12
石英玻璃和光刻胶的粘附性比较差，建议方法，石英清洗后用PLASMA进行下DESCUM。

每次涂之前都会打5分钟，还是这个效果的。

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7楼2017-03-12 12:46:14
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 12:45:03
刻20微米线宽的器件，胶适合多厚呢？
...

两三个微米足够了

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8楼2017-03-12 14:37:45
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:50:29
wataru_kazaf: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:51:25
首先你选择10u厚的胶厚的目的是什么呢？另外你的线宽是多少？这个很关键，还有一点就是，石英和玻璃其实很类似的，前面如果没有HMDS处理工艺就将前面的片子用150+的温度烘干后再旋涂会有效果
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9楼2017-03-12 14:41:00
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-03-12 14:37:45
两三个微米足够了
...

谢谢。不过我前段时间做，10um厚的胶，20um线宽的地方光刻显影完就剩4微米了。没试过这么薄的胶。

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10楼2017-03-12 15:21:59
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