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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 石英衬底甩光刻胶粘接性问题已有2人参与

在石英片上甩一层10微米厚的AZ4620光刻胶。光刻显影的时候,在正常的显影时间范围里,就会出现光刻胶脱落的问题。或者同样的胶厚和曝光时间,石英片就会有点过爆的效果。
想请教下论坛里的学术大神们有没有什么经验和看法。

石英衬底甩光刻胶粘接性问题


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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-03-12 11:51:30
胶太厚了吧

刻20微米线宽的器件,胶适合多厚呢?

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6楼2017-03-12 12:45:03
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524001391

金虫 (正式写手)

脱落问题建议调一下前烘时间和温度

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好好工作,好好生活!
2楼2017-03-12 08:34:23
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 524001391 at 2017-03-12 08:34:23
脱落问题建议调一下前烘时间和温度

我的前烘是先到50度保温60分钟,在升到90度保温120分钟,再自然下降。其他的片子,例如玻璃、氧化物、金属片子都没事,为什么石英的就不行呢?

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3楼2017-03-12 09:20:43
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光刻电子

禁虫 (正式写手)

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:50:55
本帖内容被屏蔽

4楼2017-03-12 11:47:12
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

5楼2017-03-12 11:51:30
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-03-12 11:47:12
石英玻璃和光刻胶的粘附性比较差,建议方法,石英清洗后用PLASMA进行下DESCUM。

每次涂之前都会打5分钟,还是这个效果的。

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7楼2017-03-12 12:46:14
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 12:45:03
刻20微米线宽的器件,胶适合多厚呢?
...

两三个微米足够了

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8楼2017-03-12 14:37:45
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:50:29
wataru_kazaf: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:51:25
首先你选择10u厚的胶厚的目的是什么呢?另外你的线宽是多少?这个很关键,还有一点就是,石英和玻璃其实很类似的,前面如果没有HMDS处理工艺就将前面的片子用150+的温度烘干后再旋涂会有效果
9楼2017-03-12 14:41:00
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-03-12 14:37:45
两三个微米足够了
...

谢谢。不过我前段时间做,10um厚的胶,20um线宽的地方光刻显影完就剩4微米了。没试过这么薄的胶。

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10楼2017-03-12 15:21:59
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