24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2836  |  回复: 14

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by babyoflion at 2017-03-12 14:41:00
首先你选择10u厚的胶厚的目的是什么呢?另外你的线宽是多少?这个很关键,还有一点就是,石英和玻璃其实很类似的,前面如果没有HMDS处理工艺就将前面的片子用150+的温度烘干后再旋涂会有效果

主要是做线宽20um的器件。没有HMDS处理,是在涂胶前用150度烘一下,等降到室温再涂胶吗?另外请教一下涂完胶烘胶有讲究吗?

发自小木虫IOS客户端
11楼2017-03-12 15:26:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 15:26:26
主要是做线宽20um的器件。没有HMDS处理,是在涂胶前用150度烘一下,等降到室温再涂胶吗?另外请教一下涂完胶烘胶有讲究吗?
...

楼主试过了?
12楼2017-04-03 17:15:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木头a木头

新虫 (初入文坛)

楼主你的问题解决了没啊?我也碰到类似的问题想求教一下哈。
13楼2017-07-04 09:17:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

biany_yg

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 09:20:43
我的前烘是先到50度保温60分钟,在升到90度保温120分钟,再自然下降。其他的片子,例如玻璃、氧化物、金属片子都没事,为什么石英的就不行呢?
...

光刻胶不能120分钟烘烤,时间太长了
14楼2017-07-27 16:06:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

一路前行丶

禁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

15楼2018-06-01 11:52:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wataru_kazaf 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 5/250 2026-05-24 16:21 by hhx1yx9evi
[基金申请] 河北省自然科学基金 +6 Peterchao 2026-05-18 9/450 2026-05-24 16:02 by 130067131
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 pmo95bazuy 2026-05-23 8/400 2026-05-24 15:56 by 1uy1ht2y9r
[基金申请] 西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题 +3 bjvtcliu 2026-05-24 5/250 2026-05-24 10:16 by kudofaye
[教师之家] 论文撤稿了 +3 bjvtcliu 2026-05-24 5/250 2026-05-24 10:06 by Equinoxhua
[教师之家] 某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路! +4 zju2000 2026-05-21 5/250 2026-05-24 09:35 by songwz
[考博] 26/27申博自荐 10+4 ZXW0202 2026-05-22 9/450 2026-05-24 08:47 by bjvtcliu
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 08:01 by 9ps9vgkqva
[基金申请] 揭秘青基评审内幕:几个A才能顺利中标 +3 国自然国社科中 2026-05-23 4/200 2026-05-23 15:37 by 2000zf36392
[基金申请] 青B发送上会通知了吗 +5 chemBioBro 2026-05-22 7/350 2026-05-23 12:35 by zhuifengzhy
[论文投稿] 投稿求助,期刊 +4 希冀,有书读 2026-05-20 8/400 2026-05-22 10:16 by 希冀,有书读
[文学芳草园] 献血感触 +7 呀呀好傻 2026-05-19 13/650 2026-05-21 20:15 by 呀呀好傻
[基金申请] 面上本子正文33页,违规吗?会被低分嘛? +14 1234567wang 2026-05-17 16/800 2026-05-21 17:58 by 脆脆的饼干
[基金申请] 国自然评分 +4 无名者登山 2026-05-20 5/250 2026-05-21 16:35 by swuq
[基金申请] 国自然上会要求 +7 无名者登山 2026-05-18 11/550 2026-05-21 15:50 by draco1987
[基金申请] 提交了我也来说说感想 +9 fummck 2026-05-20 10/500 2026-05-21 14:17 by draco1987
[基金申请] 评审有感 +15 popular289 2026-05-18 26/1300 2026-05-21 10:35 by 西葫芦炒鸡蛋
[有机交流] 反应很差,大量原料没有反应 5+3 Mr.Zot 2026-05-19 8/400 2026-05-20 22:19 by Equinoxhua
[考博] 如果工作了想读博,可以边工作边读全日制嘛? 30+3 铁达火车 2026-05-18 5/250 2026-05-20 09:33 by tfang
[考博] 博士申请 +5 星…… 2026-05-18 6/300 2026-05-18 23:49 by 糊糊涂涂好
信息提示
请填处理意见