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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 石英衬底甩光刻胶粘接性问题
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by babyoflion at 2017-03-12 14:41:00
首先你选择10u厚的胶厚的目的是什么呢？另外你的线宽是多少？这个很关键，还有一点就是，石英和玻璃其实很类似的，前面如果没有HMDS处理工艺就将前面的片子用150+的温度烘干后再旋涂会有效果

主要是做线宽20um的器件。没有HMDS处理，是在涂胶前用150度烘一下，等降到室温再涂胶吗？另外请教一下涂完胶烘胶有讲究吗？

发自小木虫IOS客户端
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11楼2017-03-12 15:26:26
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 15:26:26
主要是做线宽20um的器件。没有HMDS处理，是在涂胶前用150度烘一下，等降到室温再涂胶吗？另外请教一下涂完胶烘胶有讲究吗？
...

楼主试过了？
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12楼2017-04-03 17:15:12
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木头a木头

新虫 (初入文坛)
楼主你的问题解决了没啊？我也碰到类似的问题想求教一下哈。
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13楼2017-07-04 09:17:01
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biany_yg

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 09:20:43
我的前烘是先到50度保温60分钟，在升到90度保温120分钟，再自然下降。其他的片子，例如玻璃、氧化物、金属片子都没事，为什么石英的就不行呢？
...

光刻胶不能120分钟烘烤，时间太长了
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14楼2017-07-27 16:06:53
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一路前行丶

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
15楼2018-06-01 11:52:24
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