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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by babyoflion at 2017-03-12 14:41:00
首先你选择10u厚的胶厚的目的是什么呢?另外你的线宽是多少?这个很关键,还有一点就是,石英和玻璃其实很类似的,前面如果没有HMDS处理工艺就将前面的片子用150+的温度烘干后再旋涂会有效果

主要是做线宽20um的器件。没有HMDS处理,是在涂胶前用150度烘一下,等降到室温再涂胶吗?另外请教一下涂完胶烘胶有讲究吗?

发自小木虫IOS客户端
11楼2017-03-12 15:26:26
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 15:26:26
主要是做线宽20um的器件。没有HMDS处理,是在涂胶前用150度烘一下,等降到室温再涂胶吗?另外请教一下涂完胶烘胶有讲究吗?
...

楼主试过了?
12楼2017-04-03 17:15:12
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木头a木头

新虫 (初入文坛)

楼主你的问题解决了没啊?我也碰到类似的问题想求教一下哈。
13楼2017-07-04 09:17:01
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biany_yg

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-03-12 09:20:43
我的前烘是先到50度保温60分钟,在升到90度保温120分钟,再自然下降。其他的片子,例如玻璃、氧化物、金属片子都没事,为什么石英的就不行呢?
...

光刻胶不能120分钟烘烤,时间太长了
14楼2017-07-27 16:06:53
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一路前行丶

禁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

15楼2018-06-01 11:52:24
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