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石英衬底甩光刻胶粘接性问题 已有2人参与
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在石英片上甩一层10微米厚的AZ4620光刻胶。光刻显影的时候，在正常的显影时间范围里，就会出现光刻胶脱落的问题。或者同样的胶厚和曝光时间，石英片就会有点过爆的效果。 想请教下论坛里的学术大神们有没有什么经验和看法。  发自小木虫IOS客户端 |
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3楼2017-03-12 09:20:43
524001391
金虫 (正式写手)
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2楼2017-03-12 08:34:23
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wataru_kazaf: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:50:55
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4楼2017-03-12 11:47:12
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
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- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
5楼2017-03-12 11:51:30
5