应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 石英衬底甩光刻胶粘接性问题
51/1返回列表
查看: 2924  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 石英衬底甩光刻胶粘接性问题 已有2人参与

在石英片上甩一层10微米厚的AZ4620光刻胶。光刻显影的时候，在正常的显影时间范围里，就会出现光刻胶脱落的问题。或者同样的胶厚和曝光时间，石英片就会有点过爆的效果。
想请教下论坛里的学术大神们有没有什么经验和看法。

石英衬底甩光刻胶粘接性问题


发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-03-11 23:36:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

光刻电子

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:50:55
本帖内容被屏蔽
4楼2017-03-12 11:47:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

524001391

金虫 (正式写手)
脱落问题建议调一下前烘时间和温度

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
好好工作,好好生活!
2楼2017-03-12 08:34:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 524001391 at 2017-03-12 08:34:23
脱落问题建议调一下前烘时间和温度

我的前烘是先到50度保温60分钟，在升到90度保温120分钟，再自然下降。其他的片子，例如玻璃、氧化物、金属片子都没事，为什么石英的就不行呢？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
3楼2017-03-12 09:20:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
胶太厚了吧

发自小木虫Android客户端
回复此楼
5楼2017-03-12 11:51:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 F4zcb7xRCEJA 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:51 by pMlf9MbdMHyc
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 yPv6ndDtiRxQ 2026-08-11 4/200 2026-08-11 21:03 by thgx1vqMqrLw
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 yPv6ndDtiRxQ 2026-08-10 7/350 2026-08-11 20:39 by thgx1vqMqrLw
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +3 majunge000 2026-08-11 4/200 2026-08-11 20:13 by lch2012
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +3 布布和一二 2026-08-11 4/200 2026-08-11 15:20 by aasahr
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +3 工厂打螺丝 2026-08-08 3/150 2026-08-11 13:42 by 会议编辑
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭