24小时热门版块排行榜    

查看: 2686  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 石英衬底甩光刻胶粘接性问题 已有2人参与

在石英片上甩一层10微米厚的AZ4620光刻胶。光刻显影的时候,在正常的显影时间范围里,就会出现光刻胶脱落的问题。或者同样的胶厚和曝光时间,石英片就会有点过爆的效果。
想请教下论坛里的学术大神们有没有什么经验和看法。

石英衬底甩光刻胶粘接性问题


发自小木虫IOS客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

光刻电子

禁虫 (正式写手)

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:50:55
本帖内容被屏蔽

4楼2017-03-12 11:47:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

524001391

金虫 (正式写手)

脱落问题建议调一下前烘时间和温度

发自小木虫Android客户端
好好工作,好好生活!
2楼2017-03-12 08:34:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 524001391 at 2017-03-12 08:34:23
脱落问题建议调一下前烘时间和温度

我的前烘是先到50度保温60分钟,在升到90度保温120分钟,再自然下降。其他的片子,例如玻璃、氧化物、金属片子都没事,为什么石英的就不行呢?

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-03-12 09:20:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)

5楼2017-03-12 11:51:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿哈工大,085400,320,求调剂 +3 gdlf9999 2026-03-24 3/150 2026-03-24 10:08 by 搏击518
[考研] 081700 调剂 267分 +8 迷人的哈哈 2026-03-23 8/400 2026-03-24 08:23 by sunyuanna
[考研] 求材料,环境专业调剂 +3 18567500178 2026-03-18 3/150 2026-03-23 23:50 by 热情沙漠
[考研] 化学308分求调剂 +3 你好明天你好 2026-03-23 3/150 2026-03-23 20:11 by macy2011
[考研] 材料与化工考研调剂 +4 孅華 2026-03-22 4/200 2026-03-23 16:13 by 一休哥FU
[考研] 291求调剂 +5 孅華 2026-03-22 5/250 2026-03-23 09:20 by haoshis
[考研] 070300,一志愿北航320求调剂 +3 Jerry0216 2026-03-22 5/250 2026-03-23 09:16 by 。。堂堂
[考研] 276求调剂 +3 YNRYG 2026-03-21 4/200 2026-03-23 08:31 by 醉在风里
[考研] 280分求调剂 一志愿085802 +4 PUMPT 2026-03-22 7/350 2026-03-22 22:13 by 星空星月
[考研] 311求调剂 +6 冬十三 2026-03-18 6/300 2026-03-22 20:18 by edmund7
[考研] 广西大学材料导师推荐 +3 夏夏夏小正 2026-03-17 5/250 2026-03-21 22:20 by 金昊ML
[考研] 278求调剂 +9 烟火先于春 2026-03-17 9/450 2026-03-21 17:47 by 学员8dgXkO
[考研] 302求调剂 +12 呼呼呼。。。。 2026-03-17 12/600 2026-03-21 17:29 by ColorlessPI
[考研] 332求调剂 +3 凤凰院丁真 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
[考研] 一志愿苏州大学材料求调剂,总分315(英一) +5 sbdksD 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:10 by luoyongfeng
[考研] 一志愿西安交通大学 学硕 354求调剂211或者双一流 +3 我想要读研究生 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:13 by JourneyLucky
[考研] 353求调剂 +3 拉钩不许变 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:56 by JourneyLucky
[考研] 0856调剂,是学校就去 +8 sllhht 2026-03-19 9/450 2026-03-20 14:25 by 无懈可击111
[考研] 320求调剂0856 +3 不想起名字112 2026-03-19 3/150 2026-03-19 22:53 by 学员8dgXkO
[考研] 收复试调剂生 +4 雨后秋荷 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:16 by elevennnne
信息提示
请填处理意见