| 查看: 2368 | 回复: 13 | |||
192837465新虫 (小有名气)
|
[求助]
使用直流磁控溅射镀氧化铝，结果什么都没有 已有2人参与
|
||
|
我使用直流磁控溅射，溅射铝靶材同时通入氧气，以此来在玻璃衬底上制备氧化铝薄膜。 没有通氧气时，辉光是紫色偏白的，通入一点氧气后，辉光立马变成红色。 之前镀铝膜，是能镀上去的，薄膜也是银白色的。 这次镀氧化铝，换了一堆参数，甚至连靶基距都缩小了，都能保证起辉，而且有时候辉光闪烁，电流有微小浮动，所以我感觉有氧化铝形成，不然辉光不可能不稳定的，可样品拿出来过后，感觉玻璃片上什么都没有… 请教各位朋友，这是什么原因呢？只要有想法都可以交流！ 谢谢各位，回答精彩的追加小红花～～～ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
广东江门 五邑大学柔性传感材料与器件研究开发中心 招收0805、0856调剂硕士
已经有10人回复
-
考研调剂
已经有12人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有65人回复
192837465
新虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2228.7
- 散金: 61
- 红花: 2
- 帖子: 157
- 在线: 98.9小时
- 虫号: 3651786
- 注册: 2015-01-18
- 专业: 功能陶瓷
送红花一朵 
3楼2017-02-28 12:41:35
|
氧化铝磁控溅射特别慢，我这边100W 5mTorr 2小时大概16nm，而且氧化铝是透明的 长没长上你得去测 发自小木虫IOS客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
2楼2017-02-28 11:18:22
4楼2017-02-28 21:28:56
5楼2017-02-28 21:31:33
192837465
新虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2228.7
- 散金: 61
- 红花: 2
- 帖子: 157
- 在线: 98.9小时
- 虫号: 3651786
- 注册: 2015-01-18
- 专业: 功能陶瓷
6楼2017-03-01 08:48:32
崖岸自高
新虫 (著名写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 5940.3
- 红花: 5
- 帖子: 1095
- 在线: 264.7小时
- 虫号: 1525947
- 注册: 2011-12-06
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
7楼2017-03-01 09:34:56
8楼2017-03-01 11:52:45
192837465
新虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2228.7
- 散金: 61
- 红花: 2
- 帖子: 157
- 在线: 98.9小时
- 虫号: 3651786
- 注册: 2015-01-18
- 专业: 功能陶瓷
9楼2017-03-02 17:05:03
192837465
新虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2228.7
- 散金: 61
- 红花: 2
- 帖子: 157
- 在线: 98.9小时
- 虫号: 3651786
- 注册: 2015-01-18
- 专业: 功能陶瓷
10楼2017-03-02 17:07:02
