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新虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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虫号: 3651786
注册: 2015-01-18
专业: 功能陶瓷

[求助] 使用直流磁控溅射镀氧化铝，结果什么都没有已有2人参与

我使用直流磁控溅射，溅射铝靶材同时通入氧气，以此来在玻璃衬底上制备氧化铝薄膜。

没有通氧气时，辉光是紫色偏白的，通入一点氧气后，辉光立马变成红色。

之前镀铝膜，是能镀上去的，薄膜也是银白色的。

这次镀氧化铝，换了一堆参数，甚至连靶基距都缩小了，都能保证起辉，而且有时候辉光闪烁，电流有微小浮动，所以我感觉有氧化铝形成，不然辉光不可能不稳定的，可样品拿出来过后，感觉玻璃片上什么都没有…

请教各位朋友，这是什么原因呢？只要有想法都可以交流！

谢谢各位，回答精彩的追加小红花～～～

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薄膜制备与特性

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1楼 2017-02-27 21:49:04

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崖岸自高

新虫 (著名写手)

应助: 2 (幼儿园)
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虫号: 1525947
注册: 2011-12-06
专业: 无机非金属类光电信息与功

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

在玻璃衬底上镀的氧化铝薄膜本身就是无色透明的，你以前又没有镀过，所以镀没镀上肉眼不太好分辨（仔细看还是有些差别）；如果是金属衬底的话，由于光学干涉，薄膜表面会呈现彩色。而且衬底温度较低（大概500~600℃以下），氧化铝薄膜一般是非晶态，用XRD测试就只有玻璃衬底的馒头峰，不会有氧化铝峰。你可以把玻璃掰断，用电镜直接观察薄膜厚度；可以用EDS测试分析薄膜成分（EDS也只能大概分析以下），薄膜适镀厚点。镀氧化铝薄膜一般是用射频溅射，肯定不会有太大问题，当然你的设备我不太清楚。