| 查看: 2419 | 回复: 13 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
192837465新虫 (小有名气)
|
[求助]
使用直流磁控溅射镀氧化铝，结果什么都没有 已有2人参与
|
||
|
我使用直流磁控溅射，溅射铝靶材同时通入氧气，以此来在玻璃衬底上制备氧化铝薄膜。 没有通氧气时，辉光是紫色偏白的，通入一点氧气后，辉光立马变成红色。 之前镀铝膜，是能镀上去的，薄膜也是银白色的。 这次镀氧化铝，换了一堆参数，甚至连靶基距都缩小了，都能保证起辉，而且有时候辉光闪烁，电流有微小浮动，所以我感觉有氧化铝形成，不然辉光不可能不稳定的，可样品拿出来过后，感觉玻璃片上什么都没有… 请教各位朋友，这是什么原因呢？只要有想法都可以交流！ 谢谢各位，回答精彩的追加小红花～～～ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
硝酸腐蚀与钽表面合金技术防护
已经有0人回复
-
求助一个cif文件，谢谢。
已经有2人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有194人回复
-
温州大学材料与化工导师推荐
已经有10人回复
-
求助PDF卡片：PDF#83-0974
已经有2人回复
-
材料模拟计算 可代算 可合作
已经有6人回复
-
26年二次电池储能方向招博士-中山大学四青人才课题组-已招到，此贴作废，谢谢！
已经有49人回复
-
一公斤钽材七千多，钛才两三百，换钛不就完了？
已经有0人回复
-
非离子表活耐碱性问题
已经有4人回复
-
钽基超高温碳化物规模化合成 开启极端材料新时代
已经有0人回复
-
材料物理化学-课件
已经有2人回复
4楼2017-02-28 21:28:56
|
氧化铝磁控溅射特别慢，我这边100W 5mTorr 2小时大概16nm，而且氧化铝是透明的 长没长上你得去测 发自小木虫IOS客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
1928374652楼2017-02-28 11:18:22
192837465
新虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2228.7
- 散金: 61
- 红花: 2
- 帖子: 157
- 在线: 98.9小时
- 虫号: 3651786
- 注册: 2015-01-18
- 专业: 功能陶瓷
3楼2017-02-28 12:41:35
5楼2017-02-28 21:31:33