7楼: Originally posted by 崖岸自高 at 2017-03-01 09:34:56
在玻璃衬底上镀的氧化铝薄膜本身就是无色透明的，你以前又没有镀过，所以镀没镀上肉眼不太好分辨（仔细看还是有些差别）；如果是金属衬底的话，由于光学干涉，薄膜表面会呈现彩色。而且衬底温度较低（大概500~600℃ ...

8楼: Originally posted by 尘丶埃落定 at 2017-03-01 11:52:45
我觉得直接买氧化铝靶材比较好，一边镀Al一边通氧气，反应参数什么的不好确定。而且起辉气氛，氧气应该是不如氩气吧

11楼: Originally posted by 192837465 at 2017-03-02 17:11:06
也正准备总射频靶溅射铝靶试试……
请教您一下，用射频靶材的话，是用铝靶通氧气好，还是直接用氧化铝靶材好呢？
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2楼: Originally posted by Cls305 at 2017-02-28 11:18:22
氧化铝磁控溅射特别慢，我这边100W 5mTorr 2小时大概16nm，而且氧化铝是透明的 长没长上你得去测