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192837465

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 崖岸自高 at 2017-03-01 09:34:56
在玻璃衬底上镀的氧化铝薄膜本身就是无色透明的,你以前又没有镀过,所以镀没镀上肉眼不太好分辨(仔细看还是有些差别);如果是金属衬底的话,由于光学干涉,薄膜表面会呈现彩色。而且衬底温度较低(大概500~600℃ ...

也正准备总射频靶溅射铝靶试试……

请教您一下,用射频靶材的话,是用铝靶通氧气好,还是直接用氧化铝靶材好呢?

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11楼2017-03-02 17:11:06
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192837465

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by 尘丶埃落定 at 2017-03-01 11:52:45
我觉得直接买氧化铝靶材比较好,一边镀Al一边通氧气,反应参数什么的不好确定。而且起辉气氛,氧气应该是不如氩气吧

确实啊,参数确实不好调整…

请教您,如果用射频靶的话,溅射氧化铝靶材的时候,还要不要通入网上呢?

送您一朵小红花~

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12楼2017-03-02 17:14:11
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崖岸自高

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by 192837465 at 2017-03-02 17:11:06
也正准备总射频靶溅射铝靶试试……
请教您一下,用射频靶材的话,是用铝靶通氧气好,还是直接用氧化铝靶材好呢?
...

我以前用过氧化铝靶材,文献里面也有很多用铝靶反应溅射的

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13楼2017-03-02 20:31:03
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a809466786

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Cls305 at 2017-02-28 11:18:22
氧化铝磁控溅射特别慢,我这边100W 5mTorr 2小时大概16nm,而且氧化铝是透明的 长没长上你得去测

hi 请问层主氩氧比是多少
14楼2018-03-29 11:19:12
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