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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样?

薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好?

[ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ]
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突然来了一个机会,空空的没有目的;就像姑娘当初生了我们,我们没有说愿意
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diamondli99

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
可以有两个办法解决,一个是使用高分辨扫描电镜,即场发射电镜,样品无需导电而且分辨率较高。第二个是使用X射线衍射或者荧光,采用计算的方法可以获得膜厚。建议楼主最好不要为了在扫描电镜下获得清晰图像而贸然喷金,你的薄膜本身厚度很薄,喷上一层如果存在不均匀性,检测出的结果不可信。
16楼2009-06-04 13:28:54
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普通回帖

grinner

金虫 (正式写手)

SEM测厚度?是不是扫描剖面来看?镀金就可以了
2楼2008-12-17 09:09:36
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zzy456

至尊木虫 (职业作家)

用液氮泡一下,断面后看侧面
努力不一定成功,放弃注定失败
3楼2008-12-17 09:21:29
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r9arrow

金虫 (小有名气)

是看截面啊,但因为基片上SiO2,Si都不导电,所以看扫描电镜时图像漂得很厉害,各位有没有做过的,指点一下啊
突然来了一个机会,空空的没有目的;就像姑娘当初生了我们,我们没有说愿意
4楼2008-12-17 14:43:45
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zyming20051

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by zzy456 at 2008-12-17 09:21:
用液氮泡一下,断面后看侧面

断面喷金
5楼2008-12-19 14:20:38
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cxw0261683

捐助贵宾 (正式写手)

喷碳也可以,很简单的,做sem的地方都可以做!
6楼2008-12-19 21:27:51
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TJ30

铜虫 (小有名气)

镀一层金吧   20-10nm
7楼2008-12-24 15:01:12
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yhw9102

木虫 (小有名气)

厚度大概50nm?
劝你还是别浪费时间了 SEM测不到这么薄的膜厚
几百纳米厚还差不多
8楼2008-12-24 17:38:02
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杨肃

金虫 (小有名气)

SEM?FSEM的话,勉强可以看到,会漂移的很厉害,喷金可以改善导电性
9楼2008-12-24 17:49:29
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031125wj

喷一层金就行了
10楼2008-12-28 15:18:54
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