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【请教】用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样?
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薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好? [ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ] |
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