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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样?

薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好?

[ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ]
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突然来了一个机会,空空的没有目的;就像姑娘当初生了我们,我们没有说愿意
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yhw9102

木虫 (小有名气)

厚度大概50nm?
劝你还是别浪费时间了 SEM测不到这么薄的膜厚
几百纳米厚还差不多
8楼2008-12-24 17:38:02
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grinner

金虫 (正式写手)

SEM测厚度?是不是扫描剖面来看?镀金就可以了
2楼2008-12-17 09:09:36
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zzy456

至尊木虫 (职业作家)

用液氮泡一下,断面后看侧面
努力不一定成功,放弃注定失败
3楼2008-12-17 09:21:29
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r9arrow

金虫 (小有名气)

是看截面啊,但因为基片上SiO2,Si都不导电,所以看扫描电镜时图像漂得很厉害,各位有没有做过的,指点一下啊
突然来了一个机会,空空的没有目的;就像姑娘当初生了我们,我们没有说愿意
4楼2008-12-17 14:43:45
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