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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？
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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？

薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的，厚度大概50nm，用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好？

[ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ]
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
1楼 2008-12-16 17:03:38
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diamondli99

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以有两个办法解决，一个是使用高分辨扫描电镜，即场发射电镜，样品无需导电而且分辨率较高。第二个是使用X射线衍射或者荧光，采用计算的方法可以获得膜厚。建议楼主最好不要为了在扫描电镜下获得清晰图像而贸然喷金，你的薄膜本身厚度很薄，喷上一层如果存在不均匀性，检测出的结果不可信。
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16楼2009-06-04 13:28:54
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普通回帖

grinner

金虫 (正式写手)
SEM测厚度？是不是扫描剖面来看？镀金就可以了
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2楼2008-12-17 09:09:36
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zzy456

至尊木虫 (职业作家)
用液氮泡一下，断面后看侧面
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努力不一定成功，放弃注定失败
3楼2008-12-17 09:21:29
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r9arrow

金虫 (小有名气)
是看截面啊，但因为基片上SiO2，Si都不导电，所以看扫描电镜时图像漂得很厉害，各位有没有做过的，指点一下啊
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
4楼2008-12-17 14:43:45
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zyming20051

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by zzy456 at 2008-12-17 09:21:
用液氮泡一下，断面后看侧面

断面喷金
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5楼2008-12-19 14:20:38
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cxw0261683

捐助贵宾 (正式写手)
喷碳也可以，很简单的，做sem的地方都可以做！
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6楼2008-12-19 21:27:51
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TJ30

铜虫 (小有名气)
镀一层金吧   20-10nm
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7楼2008-12-24 15:01:12
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yhw9102

木虫 (小有名气)
厚度大概50nm？
劝你还是别浪费时间了 SEM测不到这么薄的膜厚
几百纳米厚还差不多
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8楼2008-12-24 17:38:02
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杨肃

金虫 (小有名气)
SEM？FSEM的话，勉强可以看到，会漂移的很厉害，喷金可以改善导电性
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9楼2008-12-24 17:49:29
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031125wj

喷一层金就行了
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10楼2008-12-28 15:18:54
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