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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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leida_80

新虫 (小有名气)

有相关的标准可以参考

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.
关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.
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11楼2009-04-01 21:32:46
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taony

木虫 (正式写手)
SEM误差太大了，最好用XRR，X射线反射率测量。
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12楼2009-04-01 23:04:35
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cnlmg

木虫 (著名写手)
SEM测定50nm有点难度
一般三万倍就开始发虚了
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恋恋风尘，戏梦人生……
13楼2009-04-02 09:48:35
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mokun

木虫 (小有名气)
★
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想办法让它导电, 如果实在没办法, 做ＴＥＭ样品吧.
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14楼2009-06-02 10:15:55
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sexyapple

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
FESEM还是可以的， 制备样品就是切好样品的新断面去测 注意到你的样品是在Pt上，有可能Pt的韧性会导致断面被Pt遮住  不过应该也是能观察到厚度的 只是不像Si断面清晰罢了
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15楼2009-06-02 10:52:40
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diamondli99

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以有两个办法解决，一个是使用高分辨扫描电镜，即场发射电镜，样品无需导电而且分辨率较高。第二个是使用X射线衍射或者荧光，采用计算的方法可以获得膜厚。建议楼主最好不要为了在扫描电镜下获得清晰图像而贸然喷金，你的薄膜本身厚度很薄，喷上一层如果存在不均匀性，检测出的结果不可信。
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16楼2009-06-04 13:28:54
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金浪花

新虫 (初入文坛)

超薄制样

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
分三步，
1）先切片，切成5mm厚的薄片；
2）用低粘度环氧树脂浸泡，然后把背面用玻璃片粘起来；
3）分粗磨（20－60微米）、细磨（6－20）、抛光（绒布或抛光机）三步对观察面进行处理，直至达到要求。
最薄可以做到20微米厚，可用来做衍射。
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17楼2009-07-10 16:09:56
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wsq_7710

木虫 (职业作家)
固定一面到夹具上喷金，上SEM

上次有个师妹一起做SEM，看到100nm左右的薄膜，只能慢慢尝试
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18楼2009-07-12 13:41:10
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dzfy1987

银虫 (小有名气)
金膜或者铂膜
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19楼2009-07-12 13:47:57
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bryano

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
断面喷点金可以，SEM可以测出来，10nm的厚度都可以分辨。
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20楼2009-07-12 18:47:57
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