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leida_80

新虫 (小有名气)

有相关的标准可以参考

想准确测定厚度还是很麻烦的,关键就在于制样,关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的,标准名称我不太记得了,改天给你发过来也行(如果需要),大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍,然后把材料固化在树脂中,再做截面,或者抛光,然后再测定,关键是不要破坏镀层.
关于SiO2不导电的问题,喷金或者喷碳就可以解决.
11楼2009-04-01 21:32:46
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taony

木虫 (正式写手)

SEM误差太大了,最好用XRR,X射线反射率测量。
12楼2009-04-01 23:04:35
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cnlmg

木虫 (著名写手)

SEM测定50nm有点难度
一般三万倍就开始发虚了
恋恋风尘,戏梦人生……
13楼2009-04-02 09:48:35
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mokun

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
想办法让它导电, 如果实在没办法, 做TEM样品吧.
14楼2009-06-02 10:15:55
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sexyapple

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
FESEM还是可以的, 制备样品就是切好样品的新断面去测 注意到你的样品是在Pt上,有可能Pt的韧性会导致断面被Pt遮住  不过应该也是能观察到厚度的 只是不像Si断面清晰罢了
15楼2009-06-02 10:52:40
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diamondli99

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
可以有两个办法解决,一个是使用高分辨扫描电镜,即场发射电镜,样品无需导电而且分辨率较高。第二个是使用X射线衍射或者荧光,采用计算的方法可以获得膜厚。建议楼主最好不要为了在扫描电镜下获得清晰图像而贸然喷金,你的薄膜本身厚度很薄,喷上一层如果存在不均匀性,检测出的结果不可信。
16楼2009-06-04 13:28:54
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金浪花

新虫 (初入文坛)

超薄制样


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
分三步,
1)先切片,切成5mm厚的薄片;
2)用低粘度环氧树脂浸泡,然后把背面用玻璃片粘起来;
3)分粗磨(20-60微米)、细磨(6-20)、抛光(绒布或抛光机)三步对观察面进行处理,直至达到要求。
最薄可以做到20微米厚,可用来做衍射。
17楼2009-07-10 16:09:56
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wsq_7710

木虫 (职业作家)

固定一面到夹具上喷金,上SEM

上次有个师妹一起做SEM,看到100nm左右的薄膜,只能慢慢尝试
18楼2009-07-12 13:41:10
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dzfy1987

银虫 (小有名气)

金膜或者铂膜
19楼2009-07-12 13:47:57
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bryano

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
断面喷点金可以,SEM可以测出来,10nm的厚度都可以分辨。
20楼2009-07-12 18:47:57
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