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金虫 (小有名气)

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专业: 极端条件下使用的金属材料

[交流] 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？

薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的，厚度大概50nm，用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好？

[ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ]

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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意

1楼 2008-12-16 17:03:38

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leida_80

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专业: 高分子材料结构与性能

有相关的标准可以参考

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.
关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.