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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？
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lw8115

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们这边是冷场发射高分辨，50nm可以测，一般截断面，用自制的夹具夹起来，飘动不是很厉害，当然也不是很精确的
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21楼2009-07-15 11:15:17
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coating8397

50nm?建议你放弃用SEM方法测。
1、一般的SEM达不到要求
2、就算SEM达到了要求，你的制样水平也未必能达到要求。
如果真要用这个做，就做一个对接的截面样品。还可以用TEM观察呢！
进一步交流，请加群75553256
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22楼2009-07-15 14:20:15
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heyuhit

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by zyming20051 at 2008/12/19 14:20:

断面喷金

这个方法值得一试，液氮泡一下掰断了再喷金，但是50nm。。。finger crossed
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23楼2009-07-15 16:05:38
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shenhanzhi

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
做SEM实验观测不导电的样品不是一般都要镀金吗？在你所测试的样品表面镀金然后再去做啊，这样就可以导电了
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24楼2009-08-31 15:15:05
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feixiang132

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
基本上时不可能的，太薄了。
用别的方法吧，例如透射，椭偏仪
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25楼2009-09-01 08:58:24
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lhmin120

金虫 (小有名气)
不太懂，不过顶一下！
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26楼2009-09-04 10:43:34
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xiaowen99

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你在北京么，可以联系我拿来样品看看
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扫描电镜透射电镜衍射电子鼻13581870685
27楼2009-09-04 14:29:11
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