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【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？
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薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的，厚度大概50nm，用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好？ [ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ] |
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2楼2008-12-17 09:09:36
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3楼2008-12-17 09:21:29
4楼2008-12-17 14:43:45
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