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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样?

薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好?

[ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ]
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coating8397

50nm?建议你放弃用SEM方法测。
1、一般的SEM达不到要求
2、就算SEM达到了要求,你的制样水平也未必能达到要求。
如果真要用这个做,就做一个对接的截面样品。还可以用TEM观察呢!
进一步交流,请加群75553256
22楼2009-07-15 14:20:15
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