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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？
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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样？

薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的，厚度大概50nm，用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好？

[ Last edited by NJUT_tiger on 2008-12-24 at 16:04 ]
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1楼 2008-12-16 17:03:38
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金浪花

新虫 (初入文坛)

超薄制样

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
分三步，
1）先切片，切成5mm厚的薄片；
2）用低粘度环氧树脂浸泡，然后把背面用玻璃片粘起来；
3）分粗磨（20－60微米）、细磨（6－20）、抛光（绒布或抛光机）三步对观察面进行处理，直至达到要求。
最薄可以做到20微米厚，可用来做衍射。
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17楼2009-07-10 16:09:56
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grinner

金虫 (正式写手)
SEM测厚度？是不是扫描剖面来看？镀金就可以了
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2楼2008-12-17 09:09:36
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zzy456

至尊木虫 (职业作家)
用液氮泡一下，断面后看侧面
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努力不一定成功，放弃注定失败
3楼2008-12-17 09:21:29
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r9arrow

金虫 (小有名气)
是看截面啊，但因为基片上SiO2，Si都不导电，所以看扫描电镜时图像漂得很厉害，各位有没有做过的，指点一下啊
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4楼2008-12-17 14:43:45
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