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zephyrSS木虫 (小有名气)
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台阶仪问题请教 已有2人参与
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最近接触了台阶仪，型号布鲁克DEKTAK XT。想向各位前辈请教一些问题： 1. 为什么同样的扫描距离扫描时间越长，精确度越高？ 2. 按照网上的介绍，这个机器是通过探针扫过样品表面并随之做上下运动，然后把这个机械变化量转换成电信号。那也就是说，探针一定要进入台阶里才可以探测出台阶对吗？ 3. 如果2中的假设是成立的，那我想请教为什么我用2微米的探针，10秒钟扫100微米分辨率可以达到0.033微米。这个分辨率是什么意思？2微米的针很明显是不能进入0.033微米的台阶中的啊。 以上问题，请前辈指教！万分感谢！ 已经腊月二十八了，提前给看到这个问题的同志们拜年了，鸡年吉祥哈！ |
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zephyrSS(fbqrdzs代发): 金币+3 2017-01-26 11:52:49
zephyrSS(fbqrdzs代发): 金币+3 2017-01-26 11:52:49
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1.我觉得是分辨率高，不是精确度. 2. 是的 3. 2微米指针尖直径，真正针尖很小，可以假想一个球体，直径2um，球体与桌面接触的面积其实很小。针尖能不能进入台阶中间，还取决于台阶的高度 发自小木虫IOS客户端 |
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zephyrSS3楼2017-01-25 11:39:52
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7楼2017-02-07 08:53:37
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zephyrSS: 金币+63, ★★★★★最佳答案 2017-04-11 22:10:06
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看到的晚了，希望能帮助你 你提到的问题其实不涉及到分辨率，这里需要分清楚两个概念：垂直分辨率和高度分辨率 1.高度分辨率，指的是高度方向上最小电势差代表的高度，dektak xt最小量程6.5um，16位AD转换，代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即为垂直分辨率，这个值不代表最薄可测量膜厚，这个垂直分辨率和你扫描长度扫描时间无任何关系。 2.水平方向上，你问到的精度代表两个采样点之间的距离，比如dektak xt采样频率300Hz，即每秒钟采集300个点，100um长度，10s，共3000点，两点间隔100/3000=0.033um，这代表的是水平采样点间隔，不代表2um探针能深入到这么窄的槽里，2um探针能伸进多窄的槽是其几何形状限定的，时间影响点数，这两个概念没任何关系。 搞清楚这两个概念，你应该没这方面的疑惑了 发自小木虫IOS客户端 |
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8楼2017-04-11 16:38:55
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