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汕头大学海洋科学接受调剂
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zephyrSS

木虫 (小有名气)

[求助] 台阶仪问题请教 已有2人参与

最近接触了台阶仪，型号布鲁克DEKTAK XT。想向各位前辈请教一些问题：

1. 为什么同样的扫描距离扫描时间越长，精确度越高？
2. 按照网上的介绍，这个机器是通过探针扫过样品表面并随之做上下运动，然后把这个机械变化量转换成电信号。那也就是说，探针一定要进入台阶里才可以探测出台阶对吗？
3. 如果2中的假设是成立的，那我想请教为什么我用2微米的探针，10秒钟扫100微米分辨率可以达到0.033微米。这个分辨率是什么意思？2微米的针很明显是不能进入0.033微米的台阶中的啊。

以上问题，请前辈指教！万分感谢！
已经腊月二十八了，提前给看到这个问题的同志们拜年了，鸡年吉祥哈！
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1楼 2017-01-25 10:37:48
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berniechin

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
zephyrSS(fbqrdzs代发): 金币+3 2017-01-26 11:52:49
1.我觉得是分辨率高，不是精确度. 2. 是的   3. 2微米指针尖直径，真正针尖很小，可以假想一个球体，直径2um，球体与桌面接触的面积其实很小。针尖能不能进入台阶中间，还取决于台阶的高度

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zephyrSS
3楼2017-01-25 11:39:52
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shitou14

新虫 (初入文坛)
建议咨询厂家工程师。

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zephyrSS
2楼2017-01-25 10:47:17
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zephyrSS

木虫 (小有名气)
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引用回帖:
3楼: Originally posted by berniechin at 2017-01-25 11:39:52
1.我觉得是分辨率高，不是精确度. 2. 是的   3. 2微米指针尖直径，真正针尖很小，可以假想一个球体，直径2um，球体与桌面接触的面积其实很小。针尖能不能进入台阶中间，还取决于台阶的高度
...

谢谢您的回复！春节快乐！

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4楼2017-01-26 14:02:37
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zephyrSS

木虫 (小有名气)
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引用回帖:
2楼: Originally posted by shitou14 at 2017-01-25 10:47:17
建议咨询厂家工程师。

谢谢您

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5楼2017-01-26 14:03:03
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黄治浩

新虫 (小有名气)
台阶仪是通过高度差来测厚度的，探针上下运动有高度差才能测量，分辨率说的是最小的垂直高度差。一般来说扫描的范围越小精度越高也就是说片子越大扫描的精度就会减小。用的多的有DEK XT、150，KLA，日本小板ET系列等，最近想买一台不知楼主有没二手的可以推荐下
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zephyrSS
风继续吹
6楼2017-02-06 15:43:08
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zephyrSS

木虫 (小有名气)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by 黄治浩 at 2017-02-06 15:43:08
台阶仪是通过高度差来测厚度的，探针上下运动有高度差才能测量，分辨率说的是最小的垂直高度差。一般来说扫描的范围越小精度越高也就是说片子越大扫描的精度就会减小。用的多的有DEK XT、150，KLA，日本小板ET系列等 ...

谢谢您的回答。不过我这边没有二手资源啊，您再找找吧，祝顺利～

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7楼2017-02-07 08:53:37
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godant

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
zephyrSS: 金币+63, ★★★★★最佳答案 2017-04-11 22:10:06
引用回帖:
1楼: Originally posted by zephyrSS at 2017-01-25 10:37:48
最近接触了台阶仪，型号布鲁克DEKTAK XT。想向各位前辈请教一些问题：

1. 为什么同样的扫描距离扫描时间越长，精确度越高？
2. 按照网上的介绍，这个机器是通过探针扫过样品表面并随之做上下运动，然后把这个机 ...

看到的晚了，希望能帮助你
你提到的问题其实不涉及到分辨率，这里需要分清楚两个概念：垂直分辨率和高度分辨率
1.高度分辨率，指的是高度方向上最小电势差代表的高度，dektak xt最小量程6.5um，16位AD转换，代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即为垂直分辨率，这个值不代表最薄可测量膜厚，这个垂直分辨率和你扫描长度扫描时间无任何关系。
2.水平方向上，你问到的精度代表两个采样点之间的距离，比如dektak xt采样频率300Hz，即每秒钟采集300个点，100um长度，10s，共3000点，两点间隔100/3000=0.033um，这代表的是水平采样点间隔，不代表2um探针能深入到这么窄的槽里，2um探针能伸进多窄的槽是其几何形状限定的，时间影响点数，这两个概念没任何关系。
搞清楚这两个概念，你应该没这方面的疑惑了

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zephyrSS
8楼2017-04-11 16:38:55
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godant

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 黄治浩 at 2017-02-06 15:43:08
台阶仪是通过高度差来测厚度的，探针上下运动有高度差才能测量，分辨率说的是最小的垂直高度差。一般来说扫描的范围越小精度越高也就是说片子越大扫描的精度就会减小。用的多的有DEK XT、150，KLA，日本小板ET系列等 ...

方便的话可以私信

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9楼2017-04-11 16:39:47
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zephyrSS

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引用回帖:
8楼: Originally posted by godant at 2017-04-11 16:38:55
看到的晚了，希望能帮助你
你提到的问题其实不涉及到分辨率，这里需要分清楚两个概念：垂直分辨率和高度分辨率
1.高度分辨率，指的是高度方向上最小电势差代表的高度，dektak xt最小量程6.5um，16位AD转换，代表垂 ...

非常感谢，后来和厂家的工程师聊过。您介绍的比他还详细！有问题再打扰您，再次感谢！

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10楼2017-04-11 22:10:51
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