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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 台阶仪问题请教
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逊棠

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引用回帖:
6楼: Originally posted by 黄治浩 at 2017-02-06 15:43:08
台阶仪是通过高度差来测厚度的，探针上下运动有高度差才能测量，分辨率说的是最小的垂直高度差。一般来说扫描的范围越小精度越高也就是说片子越大扫描的精度就会减小。用的多的有DEK XT、150，KLA，日本小板ET系列等 ...

我们有二手的

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11楼2018-06-15 00:18:07
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