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zephyrSS

木虫 (小有名气)

[求助] 台阶仪问题请教 已有2人参与

最近接触了台阶仪,型号布鲁克DEKTAK XT。想向各位前辈请教一些问题:

1. 为什么同样的扫描距离扫描时间越长,精确度越高?
2. 按照网上的介绍,这个机器是通过探针扫过样品表面并随之做上下运动,然后把这个机械变化量转换成电信号。那也就是说,探针一定要进入台阶里才可以探测出台阶对吗?
3. 如果2中的假设是成立的,那我想请教为什么我用2微米的探针,10秒钟扫100微米分辨率可以达到0.033微米。这个分辨率是什么意思?2微米的针很明显是不能进入0.033微米的台阶中的啊。

以上问题,请前辈指教!万分感谢!
已经腊月二十八了,提前给看到这个问题的同志们拜年了,鸡年吉祥哈!
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zephyrSS

木虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 黄治浩 at 2017-02-06 15:43:08
台阶仪是通过高度差来测厚度的,探针上下运动有高度差才能测量,分辨率说的是最小的垂直高度差。一般来说扫描的范围越小精度越高也就是说片子越大扫描的精度就会减小。用的多的有DEK XT、150,KLA,日本小板ET系列等 ...

谢谢您的回答。不过我这边没有二手资源啊,您再找找吧,祝顺利~

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7楼2017-02-07 08:53:37
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shitou14

新虫 (初入文坛)

建议咨询厂家工程师。

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2017-01-25 10:47:17
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berniechin

木虫 (小有名气)

★ ★ ★
zephyrSS(fbqrdzs代发): 金币+3 2017-01-26 11:52:49
1.我觉得是分辨率高,不是精确度. 2. 是的   3. 2微米指针尖直径,真正针尖很小,可以假想一个球体,直径2um,球体与桌面接触的面积其实很小。针尖能不能进入台阶中间,还取决于台阶的高度

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2017-01-25 11:39:52
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zephyrSS

木虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by berniechin at 2017-01-25 11:39:52
1.我觉得是分辨率高,不是精确度. 2. 是的   3. 2微米指针尖直径,真正针尖很小,可以假想一个球体,直径2um,球体与桌面接触的面积其实很小。针尖能不能进入台阶中间,还取决于台阶的高度
...

谢谢您的回复!春节快乐!

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4楼2017-01-26 14:02:37
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