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勿忘心安里铁虫 (小有名气)
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[求助]
关于台阶仪的刻蚀速率测量 已有1人参与
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请教做这离子束刻蚀方面的虫友，现在关于刻蚀后的厚度测量（用台阶仪测量，（如图四）有很多问题，我自己没法儿解决。 1、当刻蚀的深度相对较小，约50nm以下，测量就变得非常麻烦，探针还经常扫不出结果。所以我自己就只能推算数据。 2、台阶仪的摄像头部分也有问题，我只能凭肉眼估计位置，探针可能有时正好扫过脏污上，对测量的数据肯定有很大影响。其实当开机时，摄像头的图像还能看到，一瞬就蓝屏了，本人猜想是接头不稳所致，因仪器是别人课题组的，不能乱动，所以也就只能这样瞎测了。（如图一、二） 3、关于测试的数据处理，不只测量台阶，还测了整个表面的粗糙度。可能有些地方有明显脏污或刻蚀残留物，把这些数据剔除后，看剩余部分的表面情况，再做比较。有没有做过这个处理的，希望能帮助我，谢谢！有没有更好的方法。 4、测量的时候，有时会出现如图的怪异曲线，不知为何？（如图三） 给大家添麻烦了，因本人所做的，没人可以交流，只能求助于此，感谢回复！  IMG_20151209_194437.jpg  IMG_20151204_212339.jpg  IMG_20151204_212127.jpg  IMG_20151208_211111.jpg |
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【答案】应助回帖
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1、薄膜越薄，台阶仪越难测量，因为受你台阶制作质量的影响，表粗糙度的影响，样品自身翘曲的影响，台阶仪本身状态的影响，所以，暂时无法解释你的问题，我的经验，台阶制作足够好的情况下，10nm以上没太大问题，10nm~5nm定性表征（重复性波动范围，5A重复性代表20A的上下波动），5nm以内，拉倒吧 2、不会是接头不稳的情况，重装CCD驱动，如果不能解决，最简单的判断是打开外壳看CCD尾端到电路板上之间的一个用热缩管包住的小件烫不烫，烫的话我只能说祈祷还在保修吧 3、等于说你想清楚台阶仪的粗糙度测量遵循的一般规则，文字难以表述，有机会电联 4、你所谓的曲线仅仅只是探针压力不够，你扫描的又是向下倾斜，所以会产生水平震荡曲线，这时候其实是探针脱离样品表面了已经，调下倾斜就好了 |
2楼2016-04-18 18:21:06