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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[求助] 关于台阶仪的刻蚀速率测量 已有1人参与

请教做这离子束刻蚀方面的虫友,现在关于刻蚀后的厚度测量(用台阶仪测量,(如图四)有很多问题,我自己没法儿解决。
1、当刻蚀的深度相对较小,约50nm以下,测量就变得非常麻烦,探针还经常扫不出结果。所以我自己就只能推算数据。
2、台阶仪的摄像头部分也有问题,我只能凭肉眼估计位置,探针可能有时正好扫过脏污上,对测量的数据肯定有很大影响。其实当开机时,摄像头的图像还能看到,一瞬就蓝屏了,本人猜想是接头不稳所致,因仪器是别人课题组的,不能乱动,所以也就只能这样瞎测了。(如图一、二)
3、关于测试的数据处理,不只测量台阶,还测了整个表面的粗糙度。可能有些地方有明显脏污或刻蚀残留物,把这些数据剔除后,看剩余部分的表面情况,再做比较。有没有做过这个处理的,希望能帮助我,谢谢!有没有更好的方法。
4、测量的时候,有时会出现如图的怪异曲线,不知为何?(如图三)
     给大家添麻烦了,因本人所做的,没人可以交流,只能求助于此,感谢回复!

关于台阶仪的刻蚀速率测量
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关于台阶仪的刻蚀速率测量-1
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关于台阶仪的刻蚀速率测量-2
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关于台阶仪的刻蚀速率测量-3
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godant

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

1、薄膜越薄,台阶仪越难测量,因为受你台阶制作质量的影响,表粗糙度的影响,样品自身翘曲的影响,台阶仪本身状态的影响,所以,暂时无法解释你的问题,我的经验,台阶制作足够好的情况下,10nm以上没太大问题,10nm~5nm定性表征(重复性波动范围,5A重复性代表20A的上下波动),5nm以内,拉倒吧
2、不会是接头不稳的情况,重装CCD驱动,如果不能解决,最简单的判断是打开外壳看CCD尾端到电路板上之间的一个用热缩管包住的小件烫不烫,烫的话我只能说祈祷还在保修吧
3、等于说你想清楚台阶仪的粗糙度测量遵循的一般规则,文字难以表述,有机会电联
4、你所谓的曲线仅仅只是探针压力不够,你扫描的又是向下倾斜,所以会产生水平震荡曲线,这时候其实是探针脱离样品表面了已经,调下倾斜就好了
2楼2016-04-18 18:21:06
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