| 查看: 3259 | 回复: 10 | ||
zephyrSS木虫 (小有名气)
|
[求助]
台阶仪问题请教 已有2人参与
|
|
|
最近接触了台阶仪，型号布鲁克DEKTAK XT。想向各位前辈请教一些问题： 1. 为什么同样的扫描距离扫描时间越长，精确度越高？ 2. 按照网上的介绍，这个机器是通过探针扫过样品表面并随之做上下运动，然后把这个机械变化量转换成电信号。那也就是说，探针一定要进入台阶里才可以探测出台阶对吗？ 3. 如果2中的假设是成立的，那我想请教为什么我用2微米的探针，10秒钟扫100微米分辨率可以达到0.033微米。这个分辨率是什么意思？2微米的针很明显是不能进入0.033微米的台阶中的啊。 以上问题，请前辈指教！万分感谢！ 已经腊月二十八了，提前给看到这个问题的同志们拜年了，鸡年吉祥哈！ |
回复此楼» 猜你喜欢
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有169人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于台阶仪的刻蚀速率测量
已经有1人回复
- 【求助】关于循环伏安曲线分析及基本问题
已经有3人回复
berniechin
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 8453.3
- 红花: 2
- 帖子: 220
- 在线: 17.4小时
- 虫号: 3399685
- 注册: 2014-09-05
- 性别: GG
- 专业: 新型信息器件
★ ★ ★
zephyrSS(fbqrdzs代发): 金币+3 2017-01-26 11:52:49
zephyrSS(fbqrdzs代发): 金币+3 2017-01-26 11:52:49
|
1.我觉得是分辨率高，不是精确度. 2. 是的 3. 2微米指针尖直径，真正针尖很小，可以假想一个球体，直径2um，球体与桌面接触的面积其实很小。针尖能不能进入台阶中间，还取决于台阶的高度 发自小木虫IOS客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
zephyrSS3楼2017-01-25 11:39:52
2楼2017-01-25 10:47:17
zephyrSS
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1912.5
- 散金: 30
- 红花: 1
- 帖子: 244
- 在线: 84.1小时
- 虫号: 4251246
- 注册: 2015-11-27
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
4楼2017-01-26 14:02:37
zephyrSS
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1912.5
- 散金: 30
- 红花: 1
- 帖子: 244
- 在线: 84.1小时
- 虫号: 4251246
- 注册: 2015-11-27
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
5楼2017-01-26 14:03:03
6楼2017-02-06 15:43:08
zephyrSS
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1912.5
- 散金: 30
- 红花: 1
- 帖子: 244
- 在线: 84.1小时
- 虫号: 4251246
- 注册: 2015-11-27
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
7楼2017-02-07 08:53:37
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
zephyrSS: 金币+63, ★★★★★最佳答案 2017-04-11 22:10:06
zephyrSS: 金币+63, ★★★★★最佳答案 2017-04-11 22:10:06
|
看到的晚了，希望能帮助你 你提到的问题其实不涉及到分辨率，这里需要分清楚两个概念：垂直分辨率和高度分辨率 1.高度分辨率，指的是高度方向上最小电势差代表的高度，dektak xt最小量程6.5um，16位AD转换，代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即为垂直分辨率，这个值不代表最薄可测量膜厚，这个垂直分辨率和你扫描长度扫描时间无任何关系。 2.水平方向上，你问到的精度代表两个采样点之间的距离，比如dektak xt采样频率300Hz，即每秒钟采集300个点，100um长度，10s，共3000点，两点间隔100/3000=0.033um，这代表的是水平采样点间隔，不代表2um探针能深入到这么窄的槽里，2um探针能伸进多窄的槽是其几何形状限定的，时间影响点数，这两个概念没任何关系。 搞清楚这两个概念，你应该没这方面的疑惑了 发自小木虫IOS客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
8楼2017-04-11 16:38:55
9楼2017-04-11 16:39:47
zephyrSS
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1912.5
- 散金: 30
- 红花: 1
- 帖子: 244
- 在线: 84.1小时
- 虫号: 4251246
- 注册: 2015-11-27
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
10楼2017-04-11 22:10:51
40