| 查看: 2542 | 回复: 16 | ||||
ok12315木虫 (职业作家)
|
[求助]
求助电子束蒸镀法沉积钼薄膜的相关问题 已有1人参与
|
|
我在电子束蒸镀Mo薄膜时，发现沉积速率非常低，个人认为可能是Mo熔点太高约2600摄氏度，但是蒸镀过程中速率波动较大，例如，刚开始速率约1埃/秒，但是十分钟过后速率就几乎为零了，蒸镀室内靶材亮度也大幅度降低，而且进一步增大灯丝电流无法加快蒸镀速率，请问这是什么原因呢？求解 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 | graphene2016-2018 |
» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有163人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有1人回复
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2017-01-17 08:14:05
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
3楼2017-01-17 08:30:03
4楼2017-01-17 15:52:57
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2017-01-17 17:24:26
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
|
靶材是固定的，一般是用金属粉末，但是Mo熔点太高2600度左右，聚焦点就是一个大约直径5毫米左右吧，因为温度太高，看不清晰，靶材大约20克，先前沉积过程中会先将靶材放到一个碳干锅里，但是由于能量太高，电子束直接击穿靶材，把干锅烧了一个洞，现在不用干锅，直接放在hearth里面，我感觉可能也直接击穿靶材打到hearth底了…由于熔点太高，所以只能增大电流，但是能量太高又很容易击穿，太困难了 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2017-01-18 12:36:13
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
7楼2017-01-18 12:38:33
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
8楼2017-01-18 12:39:55
ok123159楼2017-01-18 16:41:21
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
10楼2017-01-18 16:45:06
10