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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 求助电子束蒸镀法沉积钼薄膜的相关问题
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ok12315

木虫 (职业作家)

[求助] 求助电子束蒸镀法沉积钼薄膜的相关问题 已有1人参与

我在电子束蒸镀Mo薄膜时，发现沉积速率非常低，个人认为可能是Mo熔点太高约2600摄氏度，但是蒸镀过程中速率波动较大，例如，刚开始速率约1埃/秒，但是十分钟过后速率就几乎为零了，蒸镀室内靶材亮度也大幅度降低，而且进一步增大灯丝电流无法加快蒸镀速率，请问这是什么原因呢？求解

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薄膜材料和器件制备 graphene2016-2018

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1楼 2017-01-16 12:14:59
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ok12315: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2017-01-18 16:44:49
是不是电子束打歪了，没打到靶材上
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2楼2017-01-17 08:14:05
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ok12315

木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-01-17 08:14:05
是不是电子束打歪了，没打到靶材上

已经检查过了，聚焦没问题，靶材在沉积初期可以被融化，但是也就十分钟左右就明显变暗了，我怀疑是被击穿了，然后电子束直接轰击hearth 底了，不知道如何解决

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3楼2017-01-17 08:30:03
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科了个研

铁虫 (小有名气)
是不是真空没抽好高温下氧化了

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4楼2017-01-17 15:52:57
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ok12315 at 2017-01-17 08:30:03
已经检查过了，聚焦没问题，靶材在沉积初期可以被融化，但是也就十分钟左右就明显变暗了，我怀疑是被击穿了，然后电子束直接轰击hearth 底了，不知道如何解决
...

没有做过电子束镀膜，能不能形容一下聚焦后是什么样的斑点，是只打到一个地方么？靶材可不可以自转？
我做过脉冲激光沉积，用的是聚焦激光，5mm的靶材打一个点十分钟肯定是打不穿的
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5楼2017-01-17 17:24:26
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ok12315

木虫 (职业作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-01-17 17:24:26
没有做过电子束镀膜，能不能形容一下聚焦后是什么样的斑点，是只打到一个地方么？靶材可不可以自转？
我做过脉冲激光沉积，用的是聚焦激光，5mm的靶材打一个点十分钟肯定是打不穿的...

靶材是固定的，一般是用金属粉末，但是Mo熔点太高2600度左右，聚焦点就是一个大约直径5毫米左右吧，因为温度太高，看不清晰，靶材大约20克，先前沉积过程中会先将靶材放到一个碳干锅里，但是由于能量太高，电子束直接击穿靶材，把干锅烧了一个洞，现在不用干锅，直接放在hearth里面，我感觉可能也直接击穿靶材打到hearth底了…由于熔点太高，所以只能增大电流，但是能量太高又很容易击穿，太困难了

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6楼2017-01-18 12:36:13
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ok12315

木虫 (职业作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-01-17 17:24:26
没有做过电子束镀膜，能不能形容一下聚焦后是什么样的斑点，是只打到一个地方么？靶材可不可以自转？
我做过脉冲激光沉积，用的是聚焦激光，5mm的靶材打一个点十分钟肯定是打不穿的...

我也用脉冲激光，不过那个不适用金属，一般我用它沉积氧化物薄膜，不会融化靶材，所以基本不存在击穿问题，电子束沉积主要就是先把金属融化然后溅射

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7楼2017-01-18 12:38:33
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ok12315

木虫 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 科了个研 at 2017-01-17 15:52:57
是不是真空没抽好高温下氧化了

老板说可能是温度太高，真空度变差会散射电子束…但是我感觉不是这个原因，现在我们正在改造仪器

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8楼2017-01-18 12:39:55
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科了个研

铁虫 (小有名气)
哦哦，祝好运

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ok12315
9楼2017-01-18 16:41:21
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ok12315

木虫 (职业作家)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by 科了个研 at 2017-01-18 16:41:21
哦哦，祝好运

感谢回复！
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10楼2017-01-18 16:45:06
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