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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 求助电子束蒸镀法沉积钼薄膜的相关问题
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ok12315

木虫 (职业作家)

[求助] 求助电子束蒸镀法沉积钼薄膜的相关问题 已有1人参与

我在电子束蒸镀Mo薄膜时，发现沉积速率非常低，个人认为可能是Mo熔点太高约2600摄氏度，但是蒸镀过程中速率波动较大，例如，刚开始速率约1埃/秒，但是十分钟过后速率就几乎为零了，蒸镀室内靶材亮度也大幅度降低，而且进一步增大灯丝电流无法加快蒸镀速率，请问这是什么原因呢？求解

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1楼 2017-01-16 12:14:59
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ok12315 at 2017-01-17 08:30:03
已经检查过了，聚焦没问题，靶材在沉积初期可以被融化，但是也就十分钟左右就明显变暗了，我怀疑是被击穿了，然后电子束直接轰击hearth 底了，不知道如何解决
...

没有做过电子束镀膜，能不能形容一下聚焦后是什么样的斑点，是只打到一个地方么？靶材可不可以自转？
我做过脉冲激光沉积，用的是聚焦激光，5mm的靶材打一个点十分钟肯定是打不穿的
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5楼2017-01-17 17:24:26
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ok12315: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2017-01-18 16:44:49
是不是电子束打歪了，没打到靶材上
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2楼2017-01-17 08:14:05
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ok12315

木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-01-17 08:14:05
是不是电子束打歪了，没打到靶材上

已经检查过了，聚焦没问题，靶材在沉积初期可以被融化，但是也就十分钟左右就明显变暗了，我怀疑是被击穿了，然后电子束直接轰击hearth 底了，不知道如何解决

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3楼2017-01-17 08:30:03
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科了个研

铁虫 (小有名气)
是不是真空没抽好高温下氧化了

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4楼2017-01-17 15:52:57
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