应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 射频溅射Vdc是零
141/2返回列表12下一页
查看: 1674  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

winnalegh

新虫 (初入文坛)

[求助] 射频溅射Vdc是零

我用射频溅射镀氧化物，能够正常起辉，reflected power是零，但是直流电压（Vdc）也是零，检测了一下靶材和屏蔽罩并没有短路。而且过一段时间后，辉光变得不稳定，开始闪烁，reflected power 也不断波动。请问这是怎么回事啊？谢谢！我以为有辉光就一定会有Vdc。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢
1楼 2016-12-15 02:10:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
建议直接找厂家来修 楼主说的现象 很多原因都可以导致

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-12-15 17:48:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

winnalegh

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-15 17:48:33
建议直接找厂家来修 楼主说的现象 很多原因都可以导致

靶和绑定都是自己做的，没有厂家可以联系诶。你说的原因比如有哪些呢？现在我可以确定的是电源没有问题，因为另一个靶装上去一切正常

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
3楼2016-12-17 16:02:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by winnalegh at 2016-12-17 16:02:52
靶和绑定都是自己做的，没有厂家可以联系诶。你说的原因比如有哪些呢？现在我可以确定的是电源没有问题，因为另一个靶装上去一切正常
...

有辉光 应该有偏压 。功率多少？如果较小， 加大功率试试。 如果方便 把电源发个照片看看

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2016-12-17 19:51:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

蚊子咬了猪猪

铜虫 (小有名气)
加大功率或者压强，以及反应气体的流量。在溅射过程中气压会改变。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-12-19 23:53:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

winnalegh

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-17 19:51:17
有辉光 应该有偏压 。功率多少？如果较小， 加大功率试试。 如果方便 把电源发个照片看看
...

以前功率加到20W就开始有偏压了，现在加到了80W也没有。而且靶本来是白色的，结果中间变成了黄色，用沙纸也打磨不掉

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
6楼2016-12-23 05:06:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

winnalegh

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 蚊子咬了猪猪 at 2016-12-19 23:53:02
加大功率或者压强，以及反应气体的流量。在溅射过程中气压会改变。

都试过了，都没有变化

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
7楼2016-12-23 05:11:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

741741741

金虫 (正式写手)
你这是不是靶中毒？？？好像是靶材不导电？？？什么靶材

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
坚持梦想
8楼2016-12-23 05:40:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
靶材中毒了，用电源有问题

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2016-12-23 06:21:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zengbinjian

铜虫 (正式写手)
正常辉光下Vdc应该是负的，当出现arcing的时候Vdc会变成0或正的，plasma不稳定，想问下你的腔体温度和压强是多少？你的这种情况可能是靶安装的问题，重新装上去试试

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

winnalegh
10楼2016-12-23 06:25:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 winnalegh 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +3 工厂打螺丝 2026-08-08 3/150 2026-08-11 13:42 by 会议编辑
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 6/300 2026-08-11 13:19 by JACS/Angew
[基金申请] 帮忙看看fileCode +6 wwncly 2026-08-10 12/600 2026-08-11 13:01 by wwncly
[基金申请] FileCode能看出啥？ +7 要乐观耀哥 2026-08-10 17/850 2026-08-11 10:50 by 要乐观耀哥
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +5 布布和一二 2026-08-10 6/300 2026-08-11 10:15 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +9 documentary 2026-08-10 9/450 2026-08-11 10:08 by wk7465
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +6 Tide man 2026-08-10 6/300 2026-08-11 09:45 by tangmnt
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +10 yufeiwaner 2026-08-09 11/550 2026-08-10 18:47 by yufeiwaner
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +11 archvillain 2026-08-04 13/650 2026-08-10 14:41 by seekfind
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭