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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 射频溅射Vdc是零
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winnalegh

新虫 (初入文坛)

[求助] 射频溅射Vdc是零

我用射频溅射镀氧化物，能够正常起辉，reflected power是零，但是直流电压（Vdc）也是零，检测了一下靶材和屏蔽罩并没有短路。而且过一段时间后，辉光变得不稳定，开始闪烁，reflected power 也不断波动。请问这是怎么回事啊？谢谢！我以为有辉光就一定会有Vdc。
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1楼 2016-12-15 02:10:32
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Friend007

银虫 (知名作家)
建议直接找厂家来修 楼主说的现象 很多原因都可以导致

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2楼2016-12-15 17:48:33
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winnalegh

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-15 17:48:33
建议直接找厂家来修 楼主说的现象 很多原因都可以导致

靶和绑定都是自己做的，没有厂家可以联系诶。你说的原因比如有哪些呢？现在我可以确定的是电源没有问题，因为另一个靶装上去一切正常

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3楼2016-12-17 16:02:52
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by winnalegh at 2016-12-17 16:02:52
靶和绑定都是自己做的，没有厂家可以联系诶。你说的原因比如有哪些呢？现在我可以确定的是电源没有问题，因为另一个靶装上去一切正常
...

有辉光 应该有偏压 。功率多少？如果较小， 加大功率试试。 如果方便 把电源发个照片看看

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4楼2016-12-17 19:51:17
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蚊子咬了猪猪

铜虫 (小有名气)
加大功率或者压强，以及反应气体的流量。在溅射过程中气压会改变。

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5楼2016-12-19 23:53:02
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winnalegh

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-17 19:51:17
有辉光 应该有偏压 。功率多少？如果较小， 加大功率试试。 如果方便 把电源发个照片看看
...

以前功率加到20W就开始有偏压了，现在加到了80W也没有。而且靶本来是白色的，结果中间变成了黄色，用沙纸也打磨不掉

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6楼2016-12-23 05:06:19
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winnalegh

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 蚊子咬了猪猪 at 2016-12-19 23:53:02
加大功率或者压强，以及反应气体的流量。在溅射过程中气压会改变。

都试过了，都没有变化

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7楼2016-12-23 05:11:18
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741741741

金虫 (正式写手)
你这是不是靶中毒？？？好像是靶材不导电？？？什么靶材

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坚持梦想
8楼2016-12-23 05:40:07
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
靶材中毒了，用电源有问题

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9楼2016-12-23 06:21:44
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)
正常辉光下Vdc应该是负的，当出现arcing的时候Vdc会变成0或正的，plasma不稳定，想问下你的腔体温度和压强是多少？你的这种情况可能是靶安装的问题，重新装上去试试

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winnalegh
10楼2016-12-23 06:25:23
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