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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 射频溅射Vdc是零
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Friend007

银虫 (知名作家)
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6楼: Originally posted by winnalegh at 2016-12-23 05:06:19
以前功率加到20W就开始有偏压了，现在加到了80W也没有。而且靶本来是白色的，结果中间变成了黄色，用沙纸也打磨不掉
...

如其他同学的分析 应该是靶材中毒了 但是射频溅射问题不大 建议把阳极罩拆掉 清洗一下阳极罩和靶材表面

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winnalegh
11楼2016-12-23 07:05:27
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winnalegh

新虫 (初入文坛)
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10楼: Originally posted by zengbinjian at 2016-12-23 06:25:23
正常辉光下Vdc应该是负的，当出现arcing的时候Vdc会变成0或正的，plasma不稳定，想问下你的腔体温度和压强是多少？你的这种情况可能是靶安装的问题，重新装上去试试
...

你说的好像很有道理诶。我换了一个新靶，还是没有偏压。溅射的温度在300，也有升高到750。用的是反应溅射，氧气压在2mbar左右。今天发现靶的背面和阴极罩之间有一圈辉光，不知道怎么去除

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12楼2016-12-23 07:34:45
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winnalegh

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
11楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-23 07:05:27
如其他同学的分析 应该是靶材中毒了 但是射频溅射问题不大 建议把阳极罩拆掉 清洗一下阳极罩和靶材表面
...

谢谢你的回复！我今天换了新靶，擦了阳极罩，装上去还是没有偏压。发现靶背面和阴极罩间有辉光。不知道是不是这个原因。但不知道怎么避免辉光在靶背面产生

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13楼2016-12-23 07:37:39
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by winnalegh at 2016-12-23 07:37:39
谢谢你的回复！我今天换了新靶，擦了阳极罩，装上去还是没有偏压。发现靶背面和阴极罩间有辉光。不知道是不是这个原因。但不知道怎么避免辉光在靶背面产生
...

用万用表量一下靶材和真空室的绝缘电阻 是不是导通了？

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14楼2016-12-23 09:38:22
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