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射频溅射Vdc是零
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| 我用射频溅射镀氧化物，能够正常起辉，reflected power是零，但是直流电压（Vdc）也是零，检测了一下靶材和屏蔽罩并没有短路。而且过一段时间后，辉光变得不稳定，开始闪烁，reflected power 也不断波动。请问这是怎么回事啊？谢谢！我以为有辉光就一定会有Vdc。 |
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 薄膜制备与特性 |
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9楼2016-12-23 06:21:44
zengbinjian
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正常辉光下Vdc应该是负的，当出现arcing的时候Vdc会变成0或正的，plasma不稳定，想问下你的腔体温度和压强是多少？你的这种情况可能是靶安装的问题，重新装上去试试 发自小木虫Android客户端 |
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winnalegh10楼2016-12-23 06:25:23