24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2344  |  回复: 12

提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

[求助] PLD镀膜,抽真空后要通氧气,是否可以不用分子泵,不抽高真空 已有3人参与

(因为抽了高真空还是要通氧气的)。是否可以这样做?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Friend007

银虫 (知名作家)


抽高真空的目的是把真空室内的有害气体(氧气氮气水蒸气等)尽可能抽走。这个步骤很重要,不能少的。

发自小木虫Android客户端

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2016-11-24 19:24:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
肯定不用啊,开的话你的氧肯定就没了,分子泵也可能受损坏的
2楼2016-11-24 15:39:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-11-24 15:39:03
肯定不用啊,开的话你的氧肯定就没了,分子泵也可能受损坏的

不是,通氧气前肯定先关分子泵啊,这个是知道的,我的意思是通10pa左右氧气,用不用把腔体抽高真空再通氧气,还是只用机械泵抽到一pa就通氧

发自小木虫Android客户端
3楼2016-11-24 16:36:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

15190052720

新虫 (正式写手)

抽到高真空,再关闭分子泵,打开蝶阀通氧气,稳压

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-11-24 17:27:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by Friend007 at 2016-11-24 19:24:27
抽高真空的目的是把真空室内的有害气体(氧气氮气水蒸气等)尽可能抽走。这个步骤很重要,不能少的。

谢谢

发自小木虫Android客户端
6楼2016-11-24 21:59:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 提莫炖蘑菇 at 2016-11-24 16:36:16
不是,通氧气前肯定先关分子泵啊,这个是知道的,我的意思是通10pa左右氧气,用不用把腔体抽高真空再通氧气,还是只用机械泵抽到一pa就通氧
...

要先用分子泵抽到10-4Pa,让后再通氧气到10pa
7楼2016-11-25 08:43:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

koreyoshi梦

新虫 (小有名气)

楼主是用PLD做什么的,我最近也在用

发自小木虫Android客户端
8楼2016-11-25 09:14:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by koreyoshi梦 at 2016-11-25 09:14:18
楼主是用PLD做什么的,我最近也在用

镀膜啊,做铁电薄膜,不过还没有做出来

发自小木虫Android客户端
9楼2016-11-25 09:59:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pvac

捐助贵宾 (初入文坛)


【答案】应助回帖

一般的ALD只带机械泵,您家什么牌子的ALD会配分子泵?
10楼2016-12-02 23:28:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 提莫炖蘑菇 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿中科大材料与化工,353分还有调剂学校吗 +3 否极泰来2026 2026-04-15 4/200 2026-04-16 08:47 by 不会吃肉
[考研] 297,工科调剂? +10 河南农业大学-能 2026-04-14 10/500 2026-04-15 21:50 by noqvsozv
[考研] 22408 312求调剂 +20 门路摸摸 2026-04-14 21/1050 2026-04-15 20:39 by cuisz
[考研] 药学求调剂 +11 RussHu 2026-04-12 13/650 2026-04-15 19:07 by zhuwenxu
[考研] 22专硕求调剂 +9 haoyun上岸 2026-04-11 11/550 2026-04-15 14:47 by elainzaizai
[考研] 071000生物学调剂求助 +18 zzzzwww 2026-04-09 21/1050 2026-04-14 15:39 by zs92450
[考研] 求调剂 +20 MAX怅惘 2026-04-09 22/1100 2026-04-14 14:57 by 独醉梦孤城
[考研] 机械还有还有名额吗?太难了 +8 笑笑袁 2026-04-10 8/400 2026-04-14 08:44 by screening
[考研] B区0809 ,数一英一,290 求调剂 +3 泠潍1111 2026-04-12 4/200 2026-04-13 20:35 by 学员JpLReM
[考研] 材料复试求调剂 +24 xhhdjdjsjks 2026-04-09 24/1200 2026-04-13 15:49 by 幸免 ..
[考研] 0854调剂 +10 长弓傲 2026-04-11 11/550 2026-04-13 10:38 by wp06
[考研] 288求调剂 +15 代fish 2026-04-09 16/800 2026-04-11 10:26 by wwj2530616
[考研] 282,求调剂 +12 jggshjkkm 2026-04-09 14/700 2026-04-11 09:39 by 猪会飞
[考研] 281求调剂 +11 觉得好的吧 2026-04-10 11/550 2026-04-11 09:35 by 逆水乘风
[考研] 化学工程与技术324调剂 +23 孙常华 2026-04-09 25/1250 2026-04-11 00:07 by 骑牛渡寒江
[考研] 调剂 化学 307 +21 73372112 2026-04-09 23/1150 2026-04-10 23:53 by wj165256
[考研] 调剂 +19 小张ZA 2026-04-10 20/1000 2026-04-10 22:08 by 猪会飞
[考研] 314求调剂 +14 weltZeng 2026-04-09 14/700 2026-04-09 23:14 by wolf97
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +9 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-09 10/500 2026-04-09 20:01 by Orcid
[考研] 348求调剂 +3 candyyyi 2026-04-09 3/150 2026-04-09 17:20 by 段伟艳
信息提示
请填处理意见