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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

[求助] PLD镀膜,抽真空后要通氧气,是否可以不用分子泵,不抽高真空 已有3人参与

(因为抽了高真空还是要通氧气的)。是否可以这样做?
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pvac

捐助贵宾 (初入文坛)


【答案】应助回帖

一般的ALD只带机械泵,您家什么牌子的ALD会配分子泵?
10楼2016-12-02 23:28:45
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
肯定不用啊,开的话你的氧肯定就没了,分子泵也可能受损坏的
2楼2016-11-24 15:39:03
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-11-24 15:39:03
肯定不用啊,开的话你的氧肯定就没了,分子泵也可能受损坏的

不是,通氧气前肯定先关分子泵啊,这个是知道的,我的意思是通10pa左右氧气,用不用把腔体抽高真空再通氧气,还是只用机械泵抽到一pa就通氧

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3楼2016-11-24 16:36:16
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15190052720

新虫 (正式写手)

抽到高真空,再关闭分子泵,打开蝶阀通氧气,稳压

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-11-24 17:27:45
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