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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

[求助] PLD镀膜,抽真空后要通氧气,是否可以不用分子泵,不抽高真空 已有3人参与

(因为抽了高真空还是要通氧气的)。是否可以这样做?
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Friend007

银虫 (知名作家)


抽高真空的目的是把真空室内的有害气体(氧气氮气水蒸气等)尽可能抽走。这个步骤很重要,不能少的。

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2016-11-24 19:24:27
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普通回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
肯定不用啊,开的话你的氧肯定就没了,分子泵也可能受损坏的
2楼2016-11-24 15:39:03
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-11-24 15:39:03
肯定不用啊,开的话你的氧肯定就没了,分子泵也可能受损坏的

不是,通氧气前肯定先关分子泵啊,这个是知道的,我的意思是通10pa左右氧气,用不用把腔体抽高真空再通氧气,还是只用机械泵抽到一pa就通氧

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3楼2016-11-24 16:36:16
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15190052720

新虫 (正式写手)

抽到高真空,再关闭分子泵,打开蝶阀通氧气,稳压

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4楼2016-11-24 17:27:45
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by Friend007 at 2016-11-24 19:24:27
抽高真空的目的是把真空室内的有害气体(氧气氮气水蒸气等)尽可能抽走。这个步骤很重要,不能少的。

谢谢

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6楼2016-11-24 21:59:36
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 提莫炖蘑菇 at 2016-11-24 16:36:16
不是,通氧气前肯定先关分子泵啊,这个是知道的,我的意思是通10pa左右氧气,用不用把腔体抽高真空再通氧气,还是只用机械泵抽到一pa就通氧
...

要先用分子泵抽到10-4Pa,让后再通氧气到10pa
7楼2016-11-25 08:43:52
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koreyoshi梦

新虫 (小有名气)

楼主是用PLD做什么的,我最近也在用

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8楼2016-11-25 09:14:18
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by koreyoshi梦 at 2016-11-25 09:14:18
楼主是用PLD做什么的,我最近也在用

镀膜啊,做铁电薄膜,不过还没有做出来

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9楼2016-11-25 09:59:05
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pvac

捐助贵宾 (初入文坛)


【答案】应助回帖

一般的ALD只带机械泵,您家什么牌子的ALD会配分子泵?
10楼2016-12-02 23:28:45
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