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提莫炖蘑菇金虫 (初入文坛)
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[求助]
PLD镀膜，抽真空后要通氧气，是否可以不用分子泵，不抽高真空 已有3人参与
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| （因为抽了高真空还是要通氧气的）。是否可以这样做？ |
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15190052720
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4楼2016-11-24 17:27:45
kangye_1989
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2楼2016-11-24 15:39:03
提莫炖蘑菇
金虫 (初入文坛)
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- 专业: 无机非金属类电介质与电解
3楼2016-11-24 16:36:16
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抽高真空的目的是把真空室内的有害气体（氧气氮气水蒸气等）尽可能抽走。这个步骤很重要，不能少的。 发自小木虫Android客户端 |
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提莫炖蘑菇5楼2016-11-24 19:24:27