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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » PLD镀膜，抽真空后要通氧气，是否可以不用分子泵，不抽高真空
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)

[求助] PLD镀膜，抽真空后要通氧气，是否可以不用分子泵，不抽高真空 已有3人参与

（因为抽了高真空还是要通氧气的）。是否可以这样做？
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1楼 2016-11-24 15:17:53
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by koreyoshi梦 at 2016-11-25 09:14:18
楼主是用PLD做什么的，我最近也在用

镀膜啊，做铁电薄膜，不过还没有做出来

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9楼2016-11-25 09:59:05
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
肯定不用啊，开的话你的氧肯定就没了，分子泵也可能受损坏的
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2楼2016-11-24 15:39:03
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提莫炖蘑菇

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-11-24 15:39:03
肯定不用啊，开的话你的氧肯定就没了，分子泵也可能受损坏的

不是，通氧气前肯定先关分子泵啊，这个是知道的，我的意思是通10pa左右氧气，用不用把腔体抽高真空再通氧气，还是只用机械泵抽到一pa就通氧

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3楼2016-11-24 16:36:16
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15190052720

新虫 (正式写手)
抽到高真空，再关闭分子泵，打开蝶阀通氧气，稳压

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4楼2016-11-24 17:27:45
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