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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 电子束蒸发镀膜
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lht930504

新虫 (小有名气)
已领完
电子束蒸发镀膜
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我在用电子束蒸发镀膜机镀膜，想在镀膜过程中往里面通氧气，可以不？如镀二氧化钛，靶材是钛，镀钛膜过程中往里面通氧气生成二氧化钛？需要注意那些问题，才开始用这个仪器，求大神指教

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1楼 2016-11-17 23:23:27
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再见后定诺

木虫 (小有名气)
★
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同氧气，应该算带离子源电子束蒸发了，对真空度要求很高，工艺参数的窗口不大，你为何不直接SPS压个氧化钛的蒸发料呢，直接电子束蒸发就行了啊
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38楼2019-11-27 21:11:35
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怎么取2楼
2016-11-17 23:23   回复  
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hfsd_fb3楼
2016-11-17 23:23   回复  
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江南舞雪4楼
2016-11-17 23:23   回复  
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wish_better5楼
2016-11-17 23:23   回复  
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田田田田悦6楼
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qshuang217楼
2016-11-17 23:23   回复  
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迷失1314钰8楼
2016-11-17 23:23   回复  
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wjp3747796769楼
2016-11-17 23:23   回复  
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lilyshy10楼
2016-11-17 23:23   回复  
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kuaileniwo8911楼
2016-11-17 23:23   回复  
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焦景轩12楼
2016-11-17 23:23   回复  
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无所谓jsw13楼
2016-11-17 23:23   回复  
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XIEBO14楼
2016-11-17 23:23   回复  
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