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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 用扫描电镜配的离子溅射仪可以镀铁膜吗？
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zhaohy_001

木虫 (正式写手)

[求助] 用扫描电镜配的离子溅射仪可以镀铁膜吗？

这个问题有些二....
看文献上说在SiO2/Si片上镀铁膜都是用的电子束蒸发镀膜，不知道电镜配的离子溅射仪能不能换个铁靶然后喷铁呢？
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1楼 2012-11-09 13:18:05
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无痕之剑

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以啊，只是溅射仪溅射的铁不知道厚度，不建议使用，还是电子束好使点，至少知道自己镀了多少纳米的铁
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自强不息 厚德载物
2楼2012-11-09 13:51:52
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zhaohy_001

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 无痕之剑 at 2012-11-09 13:51:52
可以啊，只是溅射仪溅射的铁不知道厚度，不建议使用，还是电子束好使点，至少知道自己镀了多少纳米的铁

是因为喷的不均匀吗？电子束我们实验室木有啊...还有就是可以用磁控溅射吗？我是完全不懂这方面，只是想做一层催化剂。
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3楼2012-11-09 21:08:39
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无痕之剑

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
zhaohy_001: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-11-10 00:13:38
不是不均匀，是不知道厚度，你问一下有经验的师兄或师姐问多长时间镀多少纳米催化剂，你需要多厚啊？真不行就自己试，镀3分钟先试试，我也没经验刚研一
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自强不息 厚德载物
4楼2012-11-09 21:22:46
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohy_001: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-11-10 00:13:51
你有磁控溅射装置更好，用电镜溅金的效果不如磁控溅射做的好。正常的磁控溅射装置装有石英测厚仪。如果没有的话，固定沉积条件做一个样品，划痕后，用AFM测厚度也可以。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
5楼2012-11-09 23:46:34
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zhaohy_001

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 无痕之剑 at 2012-11-09 21:22:46
不是不均匀，是不知道厚度，你问一下有经验的师兄或师姐问多长时间镀多少纳米催化剂，你需要多厚啊？真不行就自己试，镀3分钟先试试，我也没经验刚研一

我们实验室目前就我一个做这个....我看看自己试试吧
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6楼2012-11-10 00:12:32
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zhaohy_001

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-11-09 23:46:34
你有磁控溅射装置更好，用电镜溅金的效果不如磁控溅射做的好。正常的磁控溅射装置装有石英测厚仪。如果没有的话，固定沉积条件做一个样品，划痕后，用AFM测厚度也可以。

嗯，主要是因为磁控溅射不在我们学院，我嫌麻烦，这样的话我可以去问问。谢谢了 ！！
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7楼2012-11-10 00:13:21
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