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zhaohy_001

木虫 (正式写手)

[求助] 用扫描电镜配的离子溅射仪可以镀铁膜吗?

这个问题有些二....
看文献上说在SiO2/Si片上镀铁膜都是用的电子束蒸发镀膜,不知道电镜配的离子溅射仪能不能换个铁靶然后喷铁呢?
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhaohy_001: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-11-10 00:13:51
你有磁控溅射装置更好,用电镜溅金的效果不如磁控溅射做的好。正常的磁控溅射装置装有石英测厚仪。如果没有的话,固定沉积条件做一个样品,划痕后,用AFM测厚度也可以。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
5楼2012-11-09 23:46:34
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无痕之剑

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以啊,只是溅射仪溅射的铁不知道厚度,不建议使用,还是电子束好使点,至少知道自己镀了多少纳米的铁
自强不息 厚德载物
2楼2012-11-09 13:51:52
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zhaohy_001

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 无痕之剑 at 2012-11-09 13:51:52
可以啊,只是溅射仪溅射的铁不知道厚度,不建议使用,还是电子束好使点,至少知道自己镀了多少纳米的铁

是因为喷的不均匀吗?电子束我们实验室木有啊...还有就是可以用磁控溅射吗?我是完全不懂这方面,只是想做一层催化剂。
3楼2012-11-09 21:08:39
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无痕之剑

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
zhaohy_001: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-11-10 00:13:38
不是不均匀,是不知道厚度,你问一下有经验的师兄或师姐问多长时间镀多少纳米催化剂,你需要多厚啊?真不行就自己试,镀3分钟先试试,我也没经验刚研一
自强不息 厚德载物
4楼2012-11-09 21:22:46
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