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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助氮化硅掩膜(有露出部分硅片开口)的热氧化
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leimeng0207

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助氮化硅掩膜(有露出部分硅片开口)的热氧化 已有2人参与

在硅基底上生长了氮化硅掩膜，用光刻胶保护在浓磷酸中刻蚀出了开口，然后放入到高温炉中热氧化(1100摄氏度干氧2小时)，拿出来后想去掉剩下的氮化硅，发现浓磷酸去不掉氮化硅了。。是因为氮化硅被氧化了么？

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端
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1楼 2016-10-17 21:40:52
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leimeng0207

新虫 (初入文坛)
求水友帮忙啊

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2楼2016-10-17 21:48:17
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leimeng0207

新虫 (初入文坛)
问题解决了发红包感谢

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3楼2016-10-17 21:48:30
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
有氮氧硅生成了，浓磷酸没办法去除

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4楼2016-10-18 10:08:30
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leimeng0207

新虫 (初入文坛)
对的，在合适的温度下能够避免这个问题么，氮化硅不被氧化，而且硅被氧化

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5楼2016-10-19 10:19:30
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leimeng0207

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dezhuli at 2016-10-18 10:08:30
有氮氧硅生成了，浓磷酸没办法去除

对的！请问有没有合适的温度或者条件，让氮化硅不被氧化，而硅被氧化为氧化会硅呢

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6楼2016-10-19 10:21:13
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
这个应该没有的

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7楼2016-10-19 12:03:31
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
我没做过这样试验

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8楼2016-10-19 12:03:48
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以换其他的蚀刻液去掉氮氧硅吧
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9楼2016-10-19 22:44:25
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leimeng0207

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by exciting73 at 2016-10-19 22:44:25
可以换其他的蚀刻液去掉氮氧硅吧

能去氮氧硅的氧化硅也会被去掉啊(哭)

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10楼2016-10-20 10:10:13
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