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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助氮化硅掩膜(有露出部分硅片开口)的热氧化
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whf199191

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你这是在氮化硅上又高温氧化了一层氧化硅吧，这样表面以氧化硅为主，自然没办法用浓磷酸去掉了……如果不高温氧化是不是氮化硅层能去掉？
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11楼2022-07-16 00:29:14
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