应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助氮化硅掩膜(有露出部分硅片开口)的热氧化
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
111/2返回列表12下一页
查看: 877  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

leimeng0207

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助氮化硅掩膜(有露出部分硅片开口)的热氧化 已有2人参与

在硅基底上生长了氮化硅掩膜，用光刻胶保护在浓磷酸中刻蚀出了开口，然后放入到高温炉中热氧化(1100摄氏度干氧2小时)，拿出来后想去掉剩下的氮化硅，发现浓磷酸去不掉氮化硅了。。是因为氮化硅被氧化了么？

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2016-10-17 21:40:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leimeng0207

新虫 (初入文坛)
求水友帮忙啊

发自小木虫Android客户端
回复此楼
2楼2016-10-17 21:48:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leimeng0207

新虫 (初入文坛)
问题解决了发红包感谢

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2016-10-17 21:48:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
有氮氧硅生成了，浓磷酸没办法去除

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2016-10-18 10:08:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leimeng0207

新虫 (初入文坛)
对的，在合适的温度下能够避免这个问题么，氮化硅不被氧化，而且硅被氧化

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-10-19 10:19:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leimeng0207

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dezhuli at 2016-10-18 10:08:30
有氮氧硅生成了，浓磷酸没办法去除

对的！请问有没有合适的温度或者条件，让氮化硅不被氧化，而硅被氧化为氧化会硅呢

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2016-10-19 10:21:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
这个应该没有的

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
7楼2016-10-19 12:03:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
我没做过这样试验

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
8楼2016-10-19 12:03:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以换其他的蚀刻液去掉氮氧硅吧
赞一下 回复此楼
9楼2016-10-19 22:44:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leimeng0207

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by exciting73 at 2016-10-19 22:44:25
可以换其他的蚀刻液去掉氮氧硅吧

能去氮氧硅的氧化硅也会被去掉啊(哭)

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
10楼2016-10-20 10:10:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 leimeng0207 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 326分，一志愿沪9，求生物学调剂 +3 刘墨墨 2026-04-05 3/150 2026-04-08 00:57 by 尼尼宁宁
[考研] 化学308分求调剂 +14 你好明天你好 2026-04-07 16/800 2026-04-07 23:09 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工专硕329 求调剂 +18 额cc 2026-04-06 19/950 2026-04-07 19:38 by qlm5820
[考研] 0702物理学学硕299求调剂 +3 祁柒连 2026-04-06 3/150 2026-04-07 12:48 by 小木虫gyh
[考研] 考研调剂 +7 15615482637 2026-04-04 7/350 2026-04-06 22:56 by chenzhimin
[考研] 266分，一志愿电气工程，本科材料，求材料专业调剂 +9 哇呼哼呼哼 2026-04-02 10/500 2026-04-06 19:47 by jean5056
[考研] 348求调剂 +3 车厘子zzz 2026-04-05 3/150 2026-04-05 20:30 by 啵啵啵0119
[考研] 一志愿上海海洋大学083200食品学硕，求调剂，接受其他专业083200 +4 what张 2026-04-04 5/250 2026-04-05 14:07 by chw1980_0
[考研] 313求调剂 +5 海日海日 2026-04-04 7/350 2026-04-05 13:58 by imissbao
[考研] 材料与化工306分找调剂 +12 沧海轻舟e 2026-04-03 13/650 2026-04-04 23:45 by lqwchd
[考研] 材料调剂 +10 懒羊羊轻置玉臀 2026-04-02 11/550 2026-04-04 21:56 by laoshidan
[考研] 085600调剂 +4 1amJJ 2026-04-02 4/200 2026-04-04 21:53 by hemengdong
[考研] 341求调剂 +3 洛多罗 2026-04-02 4/200 2026-04-04 21:36 by 智能智慧
[考研] 。 +5 雾与海 2026-04-02 6/300 2026-04-04 19:53 by 蓝云思雨
[考研] 11408 一志愿西电，277分求调剂 +4 zhouzhen654 2026-04-03 4/200 2026-04-04 18:10 by 猪会飞
[考研] 一志愿北京科技大学材料工程085601，求调剂 +17 cdyw 2026-04-02 18/900 2026-04-04 11:14 by w_xuqing
[考研] 化工求调剂 +11 荔香芝士椰奶 2026-04-03 11/550 2026-04-03 22:06 by 啵啵啵0119
[考研] 285求调剂 +5 AZMK 2026-04-03 8/400 2026-04-03 18:17 by AZMK
[考研] 一志愿深大085601材料工程专业（专硕）300分可以调剂去哪 +8 10160315 2026-04-02 8/400 2026-04-03 09:36 by hypershenger
[考研] 一志愿北交材料工程总分358 +5 cs0106 2026-04-01 7/350 2026-04-01 11:45 by wangjy2002
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭