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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助，磁控溅射生长DLC
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

[求助] 求助，磁控溅射生长DLC 已有2人参与

求助，磁控溅射生长DLC，长出来的薄膜用万用表测得电阻特别大，为什么啊？

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1楼 2016-09-30 18:10:21
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

DLC本身就是类似于半导体的，如果石墨相的比例高可能电阻率小一点，这个可以用拉曼光谱大概比较一下，另外和基体材料、膜厚也有关系
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20楼2017-05-25 15:56:05
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
碳膜不导电挺正常吧。

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2楼2016-09-30 20:54:15
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
dlc是什么材料啊

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3楼2016-09-30 21:51:38
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
结晶质量怎么样

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4楼2016-10-01 07:39:59
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