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求助,磁控溅射生长DLC,长出来的薄膜用万用表测得电阻特别大,为什么啊? 发自小木虫Android客户端 |
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10楼2016-10-02 09:58:27
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用万用表测?DLC薄膜具有电绝缘性(应用于半导体)。DLC中sp2 杂化碳相和薄膜电阻率有直接关系,因此沉积工艺和离子束能量都会对电阻率有很大影响。纯DLC没必要测XRD,一般人从里面也分析不出什么结果。发自小木虫Android客户端 |
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9楼2016-10-02 09:56:08







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用万用表测?DLC薄膜具有电绝缘性(应用于半导体)。DLC中sp2 杂化碳相和薄膜电阻率有直接关系,因此沉积工艺和离子束能量都会对电阻率有很大影响。纯DLC没必要测XRD,一般人从里面也分析不出什么结果。
起名字真难诶