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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

[求助] 求助,磁控溅射生长DLC 已有2人参与

求助,磁控溅射生长DLC,长出来的薄膜用万用表测得电阻特别大,为什么啊?

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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

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3楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-09-30 21:51:38
dlc是什么材料啊

类金刚石结构

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5楼2016-10-01 09:00:24
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

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2楼: Originally posted by chenjin at 2016-09-30 20:54:15
碳膜不导电挺正常吧。

但是在别的实验室长的膜电阻50欧左右

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6楼2016-10-01 09:01:00
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

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4楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-10-01 07:39:59
结晶质量怎么样

没有看呢,实验室只有xrd

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7楼2016-10-01 09:01:48
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新虫 (小有名气)

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8楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-10-01 09:36:37
要达到什么指标呢准备?
...

不掺杂,让电阻在几十几百欧姆左右

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11楼2016-10-02 10:54:42
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

送红花一朵
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9楼: Originally posted by BMaxFeynman at 2016-10-02 09:56:08
用万用表测?DLC薄膜具有电绝缘性(应用于半导体)。DLC中sp2 杂化碳相和薄膜电阻率有直接关系,因此沉积工艺和离子束能量都会对电阻率有很大影响。纯DLC没必要测XRD,一般人从里面也分析不出什么结果。
...

好吧,谢谢你

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12楼2016-10-02 10:55:21
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13楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-10-02 11:26:44
直接用四探针测量吗?
...

先用万用表测一测

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15楼2016-10-02 18:59:58
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新虫 (小有名气)

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14楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-02 11:49:46
石墨不是导电吗?跟结果发现不了异常吗?电镜有对比图吗?

打算做做

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16楼2016-10-02 19:01:28
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新虫 (小有名气)

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17楼: Originally posted by 天蝎座836 at 2016-10-14 00:19:13
测下xps吧

好的,谢谢

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18楼2016-10-14 10:06:26
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